本发明提供了一种基于数字孪生的磁悬浮分子泵运行分析系统及方法，包括分子泵物理系统、数字孪生模型映射系统及数字孪生信息处理系统；分子泵物理系统包括磁悬浮分子泵及布设的各类传感器；数字孪生模型映射系统包括建立的磁悬浮分子泵三维模型及人机交互...

本发明提供了一种磁悬浮分子泵实时控制方法及转子转速预测模型搭建方法，属于半导体工艺中磁悬浮分子泵实时控制技术领域。本发明旨在提出一种基于深度学习的磁悬浮分子泵转速控制方法，以解决传统方法存在的挑战。该方法通过在半导体工艺腔内部署传感器去...

本发明提供了一种高精度分子泵故障诊断方法及其模型搭建方法，首先收集故障诊断数据集，包括陶瓷球轴承失效状态、陶瓷球轴承上橡胶减振垫轻微疲劳状态、橡胶减振垫严重疲劳状态以及正常状态的振动信号；然后基于时域频域分析的方法，获取基于时域频域分析...

本技术涉及一种内部冷却的分子泵，包括：底座、外壳、马达壳体、转轴、转子、静子和定子，所述底座位于外壳下方并与外壳固定连接，所述底座分别与排气口和进气口固定连接且相连通，所述外壳内部与静子固定连接，所述转子位于静子内部，所述转子与其内部的...

本技术涉及一种可拆卸静子及分子泵，包括：静子环和涡轮盘，所述静子环做轴向直线排布，所述涡轮盘位于相邻的两个静子环之间，所述涡轮盘轴向相邻的两个静子环过盈配合且压紧固定涡轮盘。本技术通过将静子分为多层，每层包括涡轮盘和静子，涡轮盘和静子可...

本发明涉及一种预警分子泵，外壳内部与静叶片固定连接，转子位于外壳内部，转子与其内部的转轴固定连接，马达壳体位于转轴和转子之间并与外壳位置固定，灌封胶位于马达壳体内部并将马达壳体内部的电机定子、下径向磁轴承、下径向传感器、上径向磁轴承和上...

本发明涉及一种磁悬浮分子泵马达壳体封装方法，包括以下步骤：步骤S1：将马达壳体倒置，将圆筒插入马达壳体的穿出孔并与马达壳体接触；步骤S2：将圆棒插入圆筒内并与圆筒贴合；步骤S3：将部件依次放入马达壳体内部；步骤S4：向马达壳体内部灌胶；...

本发明涉及一种分子泵，外壳内部与静叶片固定连接，转子位于外壳内部，转子与其内部的转轴固定连接，马达壳体位于转轴和转子之间并与外壳位置固定，灌封胶位于马达壳体内部并将马达壳体内部的电机定子、下径向磁轴承、下径向传感器、上径向磁轴承和上径向...

本技术涉及分子泵技术领域，且公开了一种具有导向结构的分子泵，包括底座，所述底座的上端开设有导向槽，所述导向槽设置有导向装置，所述导向装置包括有滚轮、连接板及放置座，所述滚轮在导向槽内滑动连接，所述连接板设置有凹型，所述连接板的下端与滚轮...

本技术涉及半导体分子泵轴承设备技术领域，且公开了一种具有散热结构的保护装置，该具有散热结构的保护装置，包括内轴套，所述内轴套圆周外表面固定连接有内圈，所述内圈圆周外表面中部活动连接有滚珠，所述滚珠外表面设置有外圈，所述内轴套内壁活动连接...

本发明属于分子泵马达保护技术领域，具体涉及一种局域定位结构的分子泵马达保护装置，包括泵壳体，所述泵壳体中的气室外壁上连通有出气口，所述泵壳体中可拆卸连接有输气装置，所述泵壳体中设置有防护套与保护机构。该局域定位结构的分子泵马达保护装置通...

本发明涉及一种磁悬浮分子泵，包括：外壳、马达壳体、转轴、转子、静子和定子，所述外壳内部与静子固定连接，所述转子位于静子内部，所述转子与其内部的转轴固定连接，所述马达壳体位于转轴和转子之间并与外壳位置固定，所述马达壳体内部与定子固定连接，...

本实用新型涉及隔离装置技术领域，且公开了一种具有稳定支撑结构的隔离装置，包括机体，所述机体的内壁上固定安装有轴承座，所述轴承座的内壁上滑动连接有螺纹板，所述螺纹板的内部螺纹连接有双向螺纹杆，所述轴承座的内部设置有支撑机构，所述挤压弹簧固...

本实用新型公开了一种具有灰尘收集结构的吹扫装置，包括底座，所述底座的底面固定连接有支撑腿，所述底座的表面上开设凹槽，所述凹槽的内部固定连接有支撑板，所述支撑板的表面固定连接有安装座，所述底座的表面设置有吹扫装置，所述吹扫装置包括：滑槽，...

本实用新型涉及防尘转子技术领域，且公开了一种具有防尘结构的隔离装置，包括泵体，泵体内部设置有套筒，套筒上端设置有磁浮悬电机，泵体内壁设置有过滤网，泵体内部开设有散热孔，泵体内部设置有调节装置，调节装置包括：槽口

本发明属于分子泵技术领域，具体涉及一种分子泵转子内部压力平衡机构，包括泵壳体，所述泵壳体的内部可拆卸连接有电机，所述电机的输出轴上固定连接有输气装置，所述输气装置的顶部固定连接有防护通气组件，所述输气装置的内部设置有抬升装置

本发明属于分子泵吹扫清洁领域，具体涉及一种避免扬尘的吹扫装置，包括机体，所述机体的内壁上滑动连接有滑动板，所述滑动板的下方设置转动升降装置，所述滑动板的上方设置有卡盘，所述机体的内部设置有吹扫机构，所述机体的外壁上固定安装有过滤箱，所述...

本发明公开了一种带冷却功能的分子泵过滤保护装置，涉及分子泵技术领域。本发明包括装置主体，装置主体的右侧设置有管道，还包括防粘附装置、防缠绕装置防堆积装置和防堵装置，防粘附装置设置在装置主体内部，防缠绕装置设置在装置主体底部，防堆积装置设...