本申请涉及一种低压化学气相沉积镀膜工艺的参数优化方法及其相关装置，包括：构建膜厚预测模型，膜厚预测模型用于指示控制单元的第一工艺参数和控制单元的膜厚预测值之间的关系；将膜厚预测模型代入目标函数模型，得到控制单元的工艺参数优化模型；在约束...