本实用新型公开了一种排气系统，安装在涂胶显影机内，包括固定座，所述固定座上设有抽气设备和过滤组件，所述抽气设备和过滤组件连通，所述过滤组件包括第一腔盖、第二腔盖，所述第一腔盖一端插接有连接管，所述第二腔盖一端插接在抽气设备内、另一端插接...

本实用新型公开了一种多路冷却组件，包括支座架和固定在支座架上的冷却水端口管理组件，所述冷却水管理端口包括供水端口和回水端口所述冷却水端口管理组件设置有若干组；所述供水端口包括供水主阀、供水排管、供水次阀和流量开关；回水端口包括回水主阀、...

本实用新型公开了一种多路冷却组件，包括支座架和固定在支座架上的冷却水端口管理组件，所述冷却水管理端口包括供水端口和回水端口所述冷却水端口管理组件设置有若干组；所述供水端口包括供水主阀、供水排管、供水次阀和流量开关；回水端口包括回水主阀、...

本实用新型公开了一种用于高温真空镀膜炉的跑风组件，包括接头组件和风管，所述风管通过接头组件与真空镀膜炉连通，所述接头组件包括接座、第一螺母、T型连接管和第二螺母；所述接座与T型连接管通过第一螺母固定连接；第二螺母与风管固定连接；T型连接...

本实用新型公开了一种旋转装置，包括旋转平台和传动组件，还包括双列角接触球轴承和旋转轴；所述传动组件包括电机、电机安装板、主动齿轮和从动齿轮；所述双列角接触球轴承包括内圈和外圈；所述电机固定在电机安装板上，其输出轴与主动齿轮固接；从动齿轮...

本实用新型公开了一种升降装置，包括伸缩套筒、传动机构和电机，还包括限位装置；伸缩套筒包括内套筒和外套筒，外套筒套设于内套筒外；传动机构包括主动齿轮、从动齿轮、传动丝杆、驱动螺母和螺母固定组件；限位装置包括导向滑块和辅助导轨；传动丝杆固接...

本实用新型公开了一种紧凑型汇气组件，包括安装板、气路控制组件和多路汇气筒，所述安装板四角设置有固定组件；所述气路控制组件设置有多路，且并列排放固定在安装板表面，结构紧凑，气路清晰，包括进气端口、通断阀、气体流量控制器和快拧接口；所述多路...

本实用新型提供了一种涂胶显影机，应用于晶圆生产，包括设备主体、工作台组件以及供气供液组件，所述设备主体为中空结构，前后均设有双开柜门，底部安装有福马轮，内部设有隔层，所述供气供液组件包括光刻胶泵和若干液体罐，所述液体罐并向排列设置于所述...

本实用新型公开了一种紧凑型伸缩装置，包括安装底板、传动组件和伸缩臂组件，安装底板两侧各设置有一传动组件，传动组件包括电机、主动齿轮、从动齿轮、滚珠丝杆和主滑块；主动齿轮与从动齿轮啮合，滚珠丝杆与从动齿轮固接，主滑块与滚珠丝杆啮合；两侧主...

本实用新型公开了一种涂胶显影机工作台，包括工作台板、连接在工作台板上的转轴组件以及机械臂组件，所述工作台板上还设有驱动电机和承载台，所述机械臂组件与所述转轴组件连接，所述工作台板上设有夹仓盖板，所述夹仓盖板与工作台板之间设有夹仓空间，所...

本实用新型公开了一种组合式可视仓门，包括仓门本体和合页，还包括接近开关感应架；安装仓门本体包括边框、围板、罩板、支撑件、连接螺母和第一螺栓；安装围板一侧与边框固接，其另一侧间隔地固接有若干连接螺母，罩板边缘设置有对应数量的通孔，安装第一...

本实用新型提供了一种用于真空镀膜设备的刀盘转架，所述真空镀膜设备设有真空室，所述真空室内设有转架托板，所述刀盘转架固定于所述转架托板上，所述刀盘转架包括转架本体以及若干刀盘，所述转架本体包含若干工件杆、拔杆，所述刀盘圆心处设有方孔，外圆...

本实用新型公开了一种用于真空炉的水冷观察窗，包括水冷法兰和设在水冷法兰内的观察窗，所述观察窗由多片透明玻璃组成，在相邻透明玻璃之间形成有密闭的水冷腔，还包括旋转手柄和挡板，所述旋转手柄设在水冷法兰外部，所述挡板设在所述水冷法兰内靠近真空...

本实用新型公开了一种用于PVD真空镀膜机的离化源，包括引弧组件、安装座、靶材，靶材设于安装座的一侧，引弧组件穿过安装座，安装座的另一侧设有强力磁铁组件，强力磁铁组件包括外强力磁铁组件和内强力磁铁组件，外强力磁铁组件包括磁钢挡板和若干第一...

本实用新型公开了一种镀膜机真空室，包括炉体和炉门，所述炉体呈多边形立方体，所述炉门与所述炉体的一个立面铰接，所述炉体的顶部设有加热棒安装座，所述炉体的底部设有动力输入安装座，所述炉体的立面上设有热电偶安装接口和抽气口接口，所述真空室圆周...

本实用新型涉及机床技术领域，尤其是一种工业自动化导线包裹机床，包括主体、工作台和电机，所述主体的一侧固定连接有控电箱，所述工作台固定连接在所述主体的上端，所述工作台的两侧开设有第一凹槽，所述第一凹槽的下端设有固定箱，所述固定箱固定连接在...

本实用新型公开了一种机电一体化电机用保护设备，包括电机本体，所述电机本体的顶部设有接线盒，所述电机本体的底部固定安装有支撑架，所述支撑架的底部固定安装有底座板，所述底座板的前侧和后侧均固定安装有连接套，所述连接套的内壁粘接有紧固衬垫，所...

本实用新型公开了一种强电流电机结构，包括永磁转子，所述永磁转子的中间贯穿设有固定通孔，固定通孔的一侧设有固定销槽，固定销槽与固定通孔之间相连通，永磁转子内上设有绝缘轴筒，绝缘轴筒位于固定通孔内，绝缘轴筒上位于固定销槽的位置设有固定销凸起...

本实用新型提供了直线电机驱动的剪切装置，包括支撑筒体、剪切部和用于驱动剪切部运行的直线电机，所述剪切部包括固定剪切件和活动剪切件；固定剪切件的侧面设置有固定剪切刃，所述活动剪切件的内侧面上设置有活动剪切刃，直线电机安装在支撑筒体的后端，...