本实用新型提供一种基于螺旋线形磁芯的MEMS磁通门传感器，属于磁场检测元件技术领域。本实用新型包括：螺旋线形磁芯、两组磁力线聚集器、检测线圈、四组激励线圈，所述螺旋线形磁芯由一根线条在平面内曲折回旋形成，线条之间形成间隙，两组磁力线聚集...

本申请实施例所公开的一种微机电磁通门传感器的结构，包括衬底、磁芯、磁力线聚集器组和线圈。其中，磁芯设置在衬底上，磁力线聚集器组中的磁力线聚集器相对于磁芯对称设置在衬底的端部，线圈绕覆在磁芯上。基于本申请实施例通过在衬底上增设磁力线聚集器...

本实用新型提供一种基于多重环形磁芯的MEMS磁通门传感器，属于磁场检测元件技术领域。本实用新型包括：多重环形磁芯、两组磁力线聚集器、检测线圈、四组激励线圈，所述多重环形磁芯包括若干环形磁芯单体，两组磁力线聚集器对称地设置在所述多重环形磁...

本发明提供一种基于锥形聚磁器的MEMS磁通门传感器及其制造方法，MEMS磁通门传感器包括磁芯、两组锥型磁力线聚集器、两组激励线圈、检测线圈以及四个电极引脚，两组锥型磁力线聚集器对称地设置在磁芯的左右两端，检测线圈绕设在磁芯中部的外周，两...

本申请实施例所公开的一种传感器的制备方法及其结构，制备方法包括获取衬底，在衬底上制备第一子线圈组，在衬底上电镀镍化铁制备出磁力线聚集器组和磁芯，磁力线聚集器组中的磁力线聚集器相对于磁芯对称设置在衬底上，在衬底上制备第二子线圈组，使得第一...

本申请实施例所公开的一种磁通门传感器的制备方法及其结构，包括将待制备薄带粘附于第一衬底上，对待制备薄带进行切割处理，得到磁芯；在第二衬底上制备第一子线圈和第一导电结构；在第二衬底上制备第一绝缘层，第一绝缘层覆盖第一子线圈和第一导电结构；...

本申请实施例所公开的一种微机电磁通门传感器的制备方法及其结构，包括获取衬底和待制备薄带，待制备薄带的材料为铁基或者钴基，在衬底上制备第一子线圈，将待制备薄带粘附于衬底上，得到待制备衬底，利用湿法腐蚀在待制备衬底上制备出磁力线聚集器组和磁...