本实用新型公开了化学气相沉积反应腔的基座及非金属反应腔，所述化学气相沉积反应腔的基座将反应腔分成上腔体和下腔体，包括：可旋转基座；外盒，所述外盒设置在可旋转基座的外围，所示外盒的正面面向上腔体，所示外盒的背面面向下腔体，外盒的背面有凸起...

本发明公开了一种化学气相沉积用的非金属反应腔，包括：中空的壳体，所述反应腔的主体形状为具有中心轴的镜向对称体；所述中空的壳体的两侧具有有进气口、排气口和/或操作口；所述中空的壳体的顶面和/或底面为向外凸起的拱形。

本发明公开了一种化学气相沉积系统，包括：反应腔，所述反应腔包括中空的壳体，所述壳体水平放置，所述中空的壳体的两侧具有进气口、排气口和/或操作口，气体从进气口沿水平方向进入反应腔；水平放置在所述反应腔内第一基座和第二基座，第一基座和第二基...

本发明公开了一种化学气相沉积用的非金属反应腔，包括：中空的壳体；所述中空的壳体的两侧具有有进气口、排气口和/或操作口；所述中空的壳体的顶部或底部具有开口；以及盖子，所述盖子覆盖所述开口，所述盖子的边缘与中空的壳体的开口边缘重叠，重叠的部...