一种晶片处理系统，它包括：处理室，连到处理室用于抽吸惰性和非惰性气体的低压泵，将惰性气体源连到处理室的阀门机构，配置在处理室内的现场吸气泵、此泵在惰性气体流入处理室的过程中抽吸某些非惰性气体，处理机构、用于处理设置在处理室内的晶片。优选...

一种晶片处理系统，它包括：处理室，连到处理室用于抽吸惰性和非惰性气体的低压泵，将惰性气体源连到处理室的阀门机构，配置在处理室内的现场吸气泵、此泵在惰性气体流入处理室的过程中抽吸某些非惰性气体，处理机构、用于处理设置在处理室内的晶片。优选...

一种吸气泵模件，其包括多个设有轴孔的吸气盘，和一个从该孔中贯穿延伸的、对该吸气盘进行支撑和加热的加热元件。该吸气盘最好是实心、多孔、烧结吸气盘，提供有与加热元件相接合的钛毂。提供有一绝热护板，保护吸气盘免受腔室内热源和散热的影响，且有助...