一种用于测量距离（例如在微米范围内）的常规相移干涉仪，通常提供两个正交信号。输出信号通常包括偏移，而偏移除非得到补偿或消除，否则会引入相关的测量误差。用于消除偏移的标准方法，是产生和／或处理相移１８０度或者其他已知量的附加信号。相反，本...

一种测量设备，其标尺座在多个排列在测量方向（Ｙ方向）上的位置固定到基底上，在该测量方向上由标尺进行测量。狭缝设置在标尺座上，其位置是在标尺座固定到基底的位置之间。在标尺座固定到基底上的两个或更多个位置上，由标尺座支撑标尺。除了标尺座固定...

本发明涉及一种估计测量机不确定性的方法，包括：基于估计的测量机的精度描述估计长度测量的不确定性；从估计的不确定性计算方差，并且通过一定的函数来近似协方差，以导出协方差矩阵或相关矩阵；从对上一步骤中导出的协方差矩阵的特征值分解中导出特征值...

提供一种图像测定系统和非停止图像测定程序制作方法及执行方法。基于台移动指示输入，使摄像部件对于测定台的位置相对移动。使闪光灯照明以规定周期反复点亮，同时基于照明调整指示输入来调整闪光灯照明的脉宽，从而调节对于工件的照明光量。基于规定的指...

本发明提供一种编码器输出信号校正设备，用于校正从编码器输出的具有相差的两相正弦信号。该设备包括三阶谐波失真校正器，用于校正包含在从编码器输出的具有相差的两相正弦信号中的三阶谐波失真。三阶谐波计算器／检测器基于从ｒ－θ转换器中输出的李萨如...

一种测量装置，其包括：放置被测物的ＸＹ载物台、具有多种探头（９Ａ，９Ｂ，９Ｃ）的探头支架（２０）以及使ＸＹ载物台和探头支架（２０）相对移动的相对移动机构。在探头支架（２０）上设有探头切换机构（３０），该探头切换机构（３０）为具有倾斜配置...

电磁感应式编码器包括：在标度（１０）上沿测定方向排列多个的标度线圈（１４）；和在测定方向对于所述标度自由地相对移动的格栅（１２）上布设的发送线圈（２４）以及接收线圈（２０），在激励了发送线圈时，从由接收线圈经由标度线圈检测的磁通的变化，...

一种光电式编码器，其具有把第一透镜阵列插入主标度尺与感光元件之间的光学系统，其把由所述第一透镜阵列分割、翻转的像进行电或光学上的再翻转。由此一边谋求小型化和主标度尺上视野的扩大，一边维持像的图形或形状。

本发明涉及一种使用形态的图像处理装置。掩模图像被提供给图像处理装置的形态运算处理部。形态运算处理部计算掩模图像的开放区间隙，并计算填补该开放区间隙所需的最小的膨胀重复次数Ｎ，在Ｎ次膨胀处理之后，执行Ｎ次收缩处理从而除去网格状的图形。之后...

在单芯片彩色照相机２７中的ＣＣＤ４１输出例如４个图像数据（Ｒ）、（Ｇ１）、（Ｇ２）和（Ｂ）到个人计算机５。计算部分８９基于图像数据（Ｒ）、（Ｇ１）、（Ｇ２）和（Ｂ）计算边缘位置和对比度值。计算部分８９接着通过利用所述对比度值加权边缘位置...

本发明提供的是一种能够使激光的振荡频率稳定化的频率稳定化激光器，具有对由参照用激光透过吸收单元而得到的光输出信号实施检测的检测装置（２６）、生成光输出信号的三次微分信号的三次微分信号检测装置（３２、３３）、使谐振器长度变化的第一促动器（...

本发明涉及一种传感器块，其由传感器片多个组合而成，该传感器片具有形成检出部的半导体基板和接合于该半导体基板的两面的两块玻璃基板；其特征在于，所述一侧的玻璃基板为所述多个传感器片共有而支承多个所述传感器片。

一种地震灾害防止系统，根据由检测地震的地震检测器而检测出的地震的大小控制运行装置的动作从而防止灾害，其特征在于，　　　　所述地震灾害防止系统具有：　　　　估计部件，由所述地震检测器检测出的地震的Ｐ波而估计地震的大小；　　　　停止控制部件...

一种操作员界面装置及相关联的方法，可允许操作员选择和验证图像相关型的位移变换器的各种操作参数。可以定义来自检测器阵列或照相机的像素子集，以参与图像相关位移测量计算。

一种根据一测量程序进行ＮＣ加工管理的方法和装置，其中通过一ＮＣ程序确定在一任意加工阶段的加工形状，生成一几何元素或一几何模型，并根据该几何模型生成一测量程序。当在完成该ＮＣ程序的若干步骤中的至少一步骤时执行该测量程序，且测量结果被用作为...

公开一种能够以高精确度高速执行焦点检测的焦点检测方法和图像测量设备的焦点检测机械装置、及具有该焦点检测机械装置的图像测量设备。旋转驱动装置旋转和操作用于将光栅图形投射到所测量物体的光栅滤波器。距离驱动装置调整图像拾取装置和测量物体之间的...

本发明涉及照明装置及图像测定装置。光源（１１０），其位置被固定，并且向远离物镜的光轴（Ａ）的方向发射光。具有外侧反射镜（光学部件）（１３０）和内侧反射镜（光学部件）（１４０）。外侧反射镜（１３０）和内侧反射镜（１４０）相互的相对位置被固...

主刻度盘１１和基准刻度盘１２平行可动配置。光源１０将准直光射到１１上。１２下方有光检测装置１３ａ和１３ｂ检测透过光通量。１１的均匀光栅含均匀宽度的透光部分１４和不透光部分１５，以等间距Ｐ交替。１２的非均匀光栅１２ａ和１２ｂ相位差９０度，...

一种使用光纤接收器通道的光栅编码器，包括：　　　　一标尺，其具有沿一测量轴以一特定间距形成的一标尺光栅；　　　　一光源，用于发射光至所述标尺以在所述标尺光栅上形成一光照点；以及　　　　　一光纤读取头，包括多个光纤接收器通道，该多个光纤接...

一种光位移测量装置，其用于引导来自光源的光通过具有物镜的光学系统到达目标，并用于通过检测部分检测从目标反射的光，从而测量目标相对于物镜的位移。在光位移测量装置中，物镜是锥形透镜，其用于朝着目标推进所述光，并用于接收由目标反射的光，以引导...