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赛亚特股份有限公司专利技术
赛亚特股份有限公司共有2项专利
一种用于获得多晶硅半导体材料,特别是硅的设备,以及一种控制其温度的方法技术
一种用于获得多晶硅的设备(1),包括:用于盛装硅的至少一个由石英制成的坩埚(3),可移去地装在一个杯形石墨容器(4)内;流体密封的并且能打开的罩(5);顶部感应线圈(12),面向所述坩埚设置,两者之间设有石墨板(14);横向感应线圈(1...
用于获取多晶半导体材料,特别是硅的方法和设备技术
本发明提供一种用于获取多晶硅的设备(1),包括:至少一个由石英制成的用于硅的坩埚(1),其可拆卸地嵌设在杯状石墨容器(4)中;流体密封罩壳(5),包括固定的下半壳(6)和垂直移动的上半壳(7);上感应线圈(12),面对坩埚设置,在上感应...
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