本发明公开了一种惯性传感器及其制备方法，惯性传感器包括：第一衬底；介质层；第一导电层，第一导电层内具有若干第一开口；多层第二导电层，多层第二导电层通过键合结构键合于第一导电层上，自下而上，相邻的第二导电层之间具有间隙，相邻的第二导电层之...

本发明公开了一种MEMS传感器及其制备方法，MEMS传感器包括：间隔设置的底电极层以及顶电极层，底电极层与顶电极层之间形成腔体；设备层，收容于腔体内，设备层包括若干间隔设置的可动质量块，可动质量块通过锚点支撑于底电极层上，可动质量块与顶...

本发明实施例涉及麦克风信号处理技术领域，公开了一种麦克风信号波束成形处理方法。本发明中，对数量不小于三的多个麦克风所对应的第一输出信号进行时频变换得到频域信号，并对多个麦克风的所述频域信号进行不同的多组波束成形预处理，得到不同的多个波束...

本发明公开了一种手部模拟器以及音频测试系统，手部模拟器包括：主承托部，用于承托被测设备，主承托部包括手掌以及活动设置在手掌端部的拇指、食指、中指、无名指以及小指；限位部，包括若干限位柱，至少部分限位柱设置于手掌上，若干限位柱合围形成收容...

本发明公开了一种扬声器以及电子设备，扬声器包括：扬声器壳体，具有容纳腔；扬声器本体，收容于容纳腔内，容纳腔被扬声器本体分隔为前声腔以及后声腔，前声腔与扬声器壳体的外部连通；谐振器，收容于后声腔内，后声腔内具有至少一个腔体部以及至少一个端...

根据本发明提供的薄膜体声波谐振器的制备方法包括提供具有顶面的基底；在所述基底的所述顶面上形成介电材料层；在所述介电材料层的远离所述基底的表面上形成底部电极；在所述底部电极的远离所述基底的表面上形成压电材料层；在所述压电材料层的远离所述基...

本发明实施例提供一种麦克风放大电路、麦克风电路以及电子设备。麦克风放大电路包括：具有输出端的稳压源、具有与稳压源的输出端连接的输入端的第一恒流源、第一晶体管、第二晶体管、第一驱动单元和第二驱动单元。第一晶体管的栅极作为麦克风放大电路的输...

一种MEMS麦克风，包括：基底，具有背腔；背板，与所述基底间隔设置；隔膜，设于所述基底上，并位于所述基底和背板之间；所述隔膜包括主体部、边缘部、隔离岛和梁结构，所述主体部与所述基底及背板间隔设置，所述边缘部固定连接所述基底，所述隔离岛为...

本发明提供了惯性传感器及制备方法。制备的惯性传感器包括基体结构和间隔设置于基体结构的一侧的可移动惯性结构，基体结构包括基层、附着于基层的靠近可移动惯性结构的一侧的电路层以及设置于电路层的阻挡结构，阻挡结构采用绝缘材料，电路层具有在厚度方...

本发明实施例提供了一种超低功耗噪音缓冲器和电子设备。该超低功耗噪音缓冲器包括：拉电流驱动电路和灌电流驱动电路；灌电流驱动电路与拉电流驱动电路电连接；灌电流驱动电路包括第一晶体管、第二晶体管和第一电流源，第一晶体管与第一电流源电连接，第一...

本申请提供一种操作机构及操作输入设备，操作机构包括：壳体，壳体具有收容空间；可移动操作件，可移动操作件收容于收容空间内，且至少部分穿出于壳体外；支撑件，用于支撑可移动操作件，且可移动操作件绕支撑件进行移动；磁体，磁体与可移动操作件连接；...

本发明提供一种MEMS器件和用于制造该MEMS器件的方法。MEMS器件包括盖帽片和器件片。器件片包括硅衬底、至少两个器件结构层和至少一个导电结构层，并且每两个相邻的器件结构层经由对应的导电结构层耦合。器件片具有包括第一区域、第二区域和第...

本发明公开了一种MEMS麦克风，包括：基底，基底内贯穿设置有腔体；振膜，支撑于基底上，并覆盖腔体；背板，支撑于振膜上，背板与振膜之间形成有第一预设间隙；第一支撑件，形成于腔体内，第一支撑件包括与基底间隔设置的支撑部以及连接部，连接部自支...

本申请公开了一种操纵杆及输入装置，该操纵杆包括壳体、活动组件、位置检测组件和磁性复位组件，壳体具有容纳腔，活动组件设置于容纳腔内并部分穿出于壳体外，位置检测组件设置于容纳腔内，用于检测活动组件的位移信息并输出对应的第一控制信号，磁性复位...

本申请公开了一种反馈装置及操作输入设备，该反馈装置包括安装座、待操作机构、位置检测机构和反馈机构，待操作机构包括待操作件和第一磁体，待操作件转动连接于安装座，第一磁体连接于待操作件，位置检测机构设置于安装座，反馈机构包括驱动组件和第二磁...

本申请提供一种谐振器及其制备方法，谐振器包括：衬底；底电极，位于衬底之上；压电层，压电层叠设于底电极之上；压电层远离衬底的表面设有凹陷框架；阻挡层，阻挡层叠设于压电层之上，阻挡层与压电层部分间隔形成气隙区，且气隙区位于凹陷框架的边缘；至...

本发明公开了一种扬声器单元以及终端设备，扬声器单元包括：扬声器主体，扬声器主体内具有容纳腔；换能器，收容于容纳腔内，沿第一方向，容纳腔被换能器分隔为前声腔以及后声腔，扬声器主体上开设有扬声孔，扬声孔与前声腔连通；喉道，喉道内具有喉腔，喉...

本发明实施例涉及振动电机技术领域，公开了一种线性振动电机及电子设备。本发明的线性振动电机，在外壳围成的收容空间中，振子的支承框上设置有从动件，驱动件与从动件相对设置，用于驱动从动件带动支承框沿一直线移动。其中，支承框上设置有多个容置槽，...

本发明公开了一种MEMS元件及其制备方法，MEMS元件包括：基底；振膜，与基底连接，振膜包括相对设置的上膜片和下膜片；对电极；若干支撑件，设置在上膜片和下膜片之间并与对电极相间隔，支撑件的相对两端分别连接上膜片和下膜片；振膜包括第一区域...

本发明实施例提供一种麦克风放大电路、麦克风电路以及电子设备。麦克风放大电路包括第一晶体管、第一恒流源和源跟随器。第一晶体管的栅极作为麦克风放大电路的输入端，第一晶体管的源极作为麦克风放大电路的输出端，第一晶体管的漏极接地。第一恒流源的输...