提供了一种由激光产生的等离子体光源。所述由激光产生的等离子体光源包括：真空腔室(1)，其具有旋转靶材组件(2)，旋转靶材组件(2)在相互作用区(4)中提供靶材(3)，其中，脉冲激光束(8)聚焦到靶材上，靶材是在旋转靶材组件中实现的环形凹...

一种用于产生短波长辐射的高亮度LPP源和方法，所述LPP源包括：真空腔室(1)，其具有用于让激光束(7)聚焦到相互作用区域(5)中的输入窗口(6)，用于让短波长辐射束(9)出射的输出窗口(8)；旋转靶标组件(3)，其具有环形凹槽(11)...