日本株式会社日立高新技术科学专利技术

日本株式会社日立高新技术科学共有181项专利

  • 试样容器以及热分析装置
    提供试样容器以及热分析装置,其不影响试样的加热分解反应而提高热重测定或热量测定的测定精度。进行热重测定或热量测定的热分析装置(1000)的试样容器(100)具有:有底筒状的主体部(102)、以及与主体部的开口(102h)相接并覆盖该开口...
  • 剖面加工观察方法、剖面加工观察装置
    本发明涉及剖面加工观察方法、剖面加工观察装置。在短时间内高精度地进行包含特定观察对象物的特定部位的加工,并且,迅速地生成特定观察对象物的高分辨率的三维立体像。具有:位置信息取得工序,使用光学显微镜或电子显微镜对观察对象的样品整体进行观察...
  • 复合带电粒子束装置
    本发明涉及复合带电粒子束装置。提供一种同时具备聚焦离子束镜筒和电子束镜筒的复合带电粒子束装置,所述复合带电粒子束装置能够防止电子束镜筒的污损并且高精度地照射电子束。具备:样品台,载置样品;聚焦离子束镜筒,向所述样品照射聚焦离子束;电子束...
  • 聚焦离子束装置
    本发明涉及聚焦离子束装置。提供一种能够以简易的结构使观察对象的微小样品片在聚焦离子束装置与样品观察装置之间容易地移动的聚焦离子束装置。具备:样品台,载置样品;聚焦离子束镜筒,向所述样品照射聚焦离子束来制作微小样品片;样品室,收容所述样品...
  • 产生气体分析装置的校正方法以及产生气体分析装置
    本发明涉及能将检测灵敏度的仪器误差和时刻误差变动等简便地补正并以高精度对测定对象进行定量的产生气体分析装置的校正方法。在具备:加热试料而产生气体成分的加热部、将气体成分离子化而生成离子的离子源、对离子进行质量分析而检测气体成分的质量分析...
  • 产生气体分析装置以及产生气体分析方法
    本发明提供在不使装置大型化的情况下提高气体成分的检测精度的产生气体分析装置。产生气体分析装置(200)具备:加热部(10),加热试料(S)而产生气体成分(G);检测机构(110),检测在加热部生成的气体成分;气体流路(41),连接加热部...
  • 产生气体分析方法以及产生气体分析装置
    产生气体分析装置具备:试料架、加热试料而产生气体成分的加热部、将气体成分离子化而生成离子的离子源、对离子进行质量分析而检测气体成分的质量分析计、供气体成分与将其向质量分析计引导的运载气体的混合气体流通的气体流路,产生气体分析方法中具有:...
  • 样品位置对准方法和带电粒子束装置
    本发明涉及样品位置对准方法和带电粒子束装置。在样品位置对准方法中,能够容易且迅速地将样品的观察对象部位位置对准于利用第一带电粒子束的观察视场内。是一种样品位置对准方法,其中,将配置在样品工作台(15)的样品(14)的观察对象部位位置对准...
  • 产生气体分析装置以及产生气体分析方法
    本发明提供在不令冷却能力和装置整体过大的情况下在短时间内冷却试料架、提高分析作业的效率的产生气体分析装置。产生气体分析装置(200)具备保持试料(S)的试料架(20)、将试料架收纳于自身的内部并加热试料而产生气体成分(G)的加热部(10...
  • 扫描探针显微镜和扫描探针显微镜的光轴调整方法
    本发明涉及扫描探针显微镜和扫描探针显微镜的光轴调整方法。提供能够使用配置于扫描探针显微镜的物镜来自动地进行光杠杆的光轴调整的扫描探针显微镜和其光轴调整方法。是一种扫描探针显微镜(100),所述扫描探针显微镜(100)具备:悬臂支承部(1...
  • 本发明涉及一种热分析装置,其目的在于,排除热分析装置的加热炉周围的温度环境的变化的影响,提高测量精度。具备至少二层以上的密闭的层构造的多层构造体,该多层构造体以与外界隔离的方式覆盖所述加热炉周围。另外,其层间由具有与存在于加热炉内的气体...
  • 荧光X射线分析装置
    本发明涉及荧光X射线分析装置。提供一种即使不将装置大型化也能够大幅度地提高载置于样品台的样品的测定位置的观察性并且样品的放入取出也变得容易的X射线分析装置。具备:样品台2,具有能够设置样品的载置面;X射线源3,配置在对样品照射一次X射线...
  • 本发明涉及荧光X射线分析装置和荧光X射线分析方法。提供了能够使装置小型化并且即使为大面积样品也能够高效地进行测定的荧光X射线分析装置和荧光X射线分析方法。具备:样品台2、X射线源、检测器、X台、Y台、θ台、以及遮蔽容器,一次X射线的照射...
  • 样品支座和样品支座组
    本发明涉及样品支座和样品支座组。提供了一种能够通过利用分别不同的测定原理的多个测定装置来容易地测定同一样品的同一地方的样品支座和样品支座组。一种样品支座,所述样品支座是使样品(100)的表面露出来保持、分别安装于利用分别不同的测定原理的...
  • 样品自动制作装置
    本发明提供一种带电粒子束装置(10a),具备计算机(21),该计算机(21)至少基于样品片保持件(P)、机针(18)以及样品片(Q)的预先获取的多个带电粒子束的图像来控制多个带电粒子束照射光学系统、机针(18)以及气体供给部(17),以...
  • X射线透射检查装置和X射线透射检查方法
    提供X射线透射检查装置和X射线透射检查方法,其即使在试样的高度方向上存在位置变化也能够防止异物的过检测和误检测。X射线透射检查装置具有:X射线源(2),其对试样S照射X射线X;试样移动机构(3),其在来自X射线源的X射线的照射中使试样向...
  • 扫描探测显微镜
    提供一种当向与外界气体隔断的测量室内的扫描探测显微镜输送试料台并向3维移动机构装接时、抑制在3维移动机构上作用过度的载荷的扫描探测显微镜。在具备悬臂、试料台、使试料台移动的3维移动机构和具有能够与外界气体隔断的内部空间的测量室的扫描探测...
  • 提供扫描探针显微镜,其抑制配置在扫描探针显微镜上的物镜的分辨率的降低、且能够使用该物镜容易地进行光杠杆的光轴调整。扫描探针显微镜(100)具有设置有接近试样(18)的表面的探针(99)的悬臂(4)、光源部(1)、反射从光源部照射的入射光...
  • 提供顺序型ICP发光分光分析装置和测定波长校正方法,不需要分光器的温度校正机构和机械地移动检测器的机构等。该顺序型ICP发光分光分析装置将波长不同的多个氩发光线作为基准波长而持续进行测定的结果取得基准波长的伴随时间经过的波长峰值位置的位...
  • 本发明涉及电感耦合等离子体发生装置和电感耦合等离子体分析装置。提供能够不使用冷却水而以高的冷却能力冷却高频感应线圈的电感耦合等离子体发生装置和使用其的电感耦合等离子体分析。电感耦合等离子体发生装置(10)由等离子体焰炬(13)、高频感应...