本发明公开了一种含氧基团的活性炭在去除四氯化硅中的杂质的应用，所述含氧基团包括羧基、酯基、羟基、羰基、醛基、醚键、酮基中的一种或多种官能团。本发明将含氧基团的活性炭作为吸附剂，可以吸附四氯化硅中的杂质，吸附能力极佳，能够实现四氯化硅纯化...

本申请公开了一种多晶硅生产用的硅芯制备装置及方法，属于多晶硅生产技术领域，其包括第一连接块和第二连接块。第一连接块和第二连接块为可拆卸连接，将第一连接块和第二连接块安装在一起后，第一连接块和第二连接块在其轴线方向上被限制，即第一连接块和...

本发明提供了一种多晶硅生长过程监测系统、方法及多晶硅生产系统，属于多晶硅生产领域。上述监测系统用于监测还原炉中多晶硅的生长状况，其包括监测模块、分析模块及输出模块；其中，监测模块用于实时监测还原炉内的物料流量及硅棒温度；分析模块用于接收...