一种声波谐振器，包括：带有空气腔的基底；在基底上形成并位于空气腔之上的第一低、高声阻抗层对；在第一低、高声阻抗层对上形成的种子层；在种子层上形成的第一电极；在第一电极上形成的压电层；在压电层上形成的第二电极；在第二电极上形成的第二低、高...

本发明公开一种压电谐振器结构，包括：具有顶面、底面、第一末端和对应的第二末端以及中间部分的基底、声反射层、第一电极、压电层和第二电极，其中，基底、声反射层、第一电极、压电层和第二电极由下到上依次设置，并且，基底、声反射层、第一电极、压电...

一种体波谐振器及其加工方法，声波谐振器：位于基底上或嵌于基底内部的具有第一边缘和第二边缘的声学镜；位于基底上与声学镜的两个边缘充分接触的介电层；位于声学镜上的包含第一末端部、第二末端部、以及位于第一末端部和第二末端部之间的主体部分的第一...