牛津仪器纳米技术工具有限公司专利技术

牛津仪器纳米技术工具有限公司共有38项专利

  • 提供一种用于在粒子束仪中对样品进行能量色散X射线分析的系统,所述系统包括X射线检测器5和滤波器构件,所述系统适于使得在第一操作模式中,滤波器构件和检测器被定位成在样品和检测器之间提供无阻挡的视线,并且在第二操作模式中,滤波器构件和检测器...
  • 一种蚀刻到铟基半导体材料中的方法。方法包括:将包括铟基半导体材料的衬底直接安装在等离子体处理室中的衬底支撑结构上,其中,铟基半导体材料形成所述衬底的表面,所述表面承载图案化掩模并被布置为远离衬底支撑结构。等离子体处理室包含固体硅,所述固...
  • 提供了一种低温冷却系统,该低温冷却系统包括低温制冷机组件和两个或更多个连接的模块。低温制冷机组件包括一个或更多个低温制冷机。每个所述连接的模块包括:限定模块的内部容积的外壳,该外壳具有多个侧面;以及布置在模块的内部容积内的多个级,其中多...
  • 本发明涉及多探测器实时化学成像。提供了一种在显微镜中分析样品的方法。该方法包括:使用电子探测器、第一X射线探测器和第二X射线探测器获取一系列化合物图像帧;使用电子探测器监测从样品区域内的多个位置发射的一组所产生的电子,以获得第一图像帧;...
  • 提供了一种用于分析样品中的晶格畸变的方法。该方法包括:对于样品中的多个目标位置中的每一个:在沿着与所述样品的包含所述目标位置的区域的周边相对应的路径的多个周边位置中的每一个处,获得所述样品的晶格取向信息;以及根据所获得的晶格取向信息,生...
  • 描述了一种用于在显微镜中分析样品的方法。该方法包括:使用第一检测器和不同于第一检测器的第二检测器获取一系列的合成图像帧,并在视觉显示器上实时显示该一系列的合成图像帧,其中视觉显示器被更新以依次显示每个合成图像帧。获取合成图像帧包括:使带...
  • 一种在包括另一材料层的样品中或样品上等离子体蚀刻或等离子体沉积目标材料层的方法,所述方法包括在所述目标材料层的等离子体蚀刻或等离子体沉积工艺期间,将第一波长的光引导到所述样品处,测量由所述样品反射的所述第一波长的光的强度,将第二波长的光...
  • 提供一种用于在目标区域中产生均匀磁场的磁体系统,其在核磁共振(NMR)领域(特别是NMR光谱学领域)具有益处。该磁体系统包括第一磁体,该第一磁体具有由超导体材料形成的第一螺线管和一对或多对补偿线圈的组,每对补偿线圈与第一螺线管同轴设置,...
  • 提供了一种用于在目标区域中生成均匀磁场的磁体系统。该磁体系统包括:第一磁体,其由低温超导体LTS材料缠绕形成以限定中心轴,所述第一磁体被布置为在使用中在位于中心轴上的目标区域中生成第一磁场,所述第一磁场具有第一水平的均匀性;第二磁体,其...
  • 提供了一种用于低温冷却装置的热交换器
  • 公开了一种用于随后在其上进行外延生长的碳化硅晶片的制备方法。该方法包括:(a)将碳化硅晶片置于等离子体处理腔中的支撑台上,使得碳化硅晶片的远离支撑台的表面是无掩膜的;(b)建立进入等离子体处理腔的蚀刻气体混合物流,其中,蚀刻气体混合物包...
  • 提供了一种在用于分析样品的装置中使用的检测器模块。检测器模块包括多个X射线传感器元件和一个或多个电子传感器元件,且适于定位在装置的电子束组件的极片下方,由组件生成的电子束从极片朝向使用中的样品射出,使得检测器模块接收由电子束与样品之间的...
  • 提供了一种检测菊池衍射图的装置。该装置包括:电子柱,其适于在使用中提供指向样品的电子束,所述电子束具有在2keV至50keV范围内的能量,以及;成像探测器,用于接收和计数由于电子束与样品的相互作用而来自样品的电子,探测器包括像素阵列并且...
  • 提供与样品保持件的光学通信的低温冷却系统。低温冷却系统包括:冷却装置和样品保持件,样品保持件能拆卸地安装至冷却装置;第一光学构件,其包括第一孔径和第一准直器,光能通过第一孔径,第一准直器定位成当光从第一孔径发射时将光准直;第二光学构件,...
  • 提供了一种低温冷却系统,该系统包括主插入件(118)和可拆卸的副插入件(128)。主插入件(118)包括多个主板(111、112)和一个或多个主连接构件(117),每个主板具有主接触表面,一个或多个主连接构件(117)布置成连接多个主板...
  • 提供一种低温冷却系统,包括:与低温制冷器(9)热联接的冷却板(2)、热开关组件和目标组件(5)。目标组件(5)包括目标制冷器(12),目标制冷器构造成获得低于低温制冷器(9)的基础温度。热开关组件(18)包括一个或多个气隙热开关,该热开...
  • 公开了一种用于超导磁体的失超保护装置。该装置包括:超导磁体,其包括多个磁体区段;多个变阻器,其中所述多个变阻器中的每个变阻器并联地电连接在所述多个磁体区段中的相应磁体区段两端;以及加热器装置,其电连接到所述多个变阻器,并且被配置为响应于...
  • 提供了一种具有容器的低温冷却系统,包括沿纵轴延伸且构造成容纳可沿纵轴移动的样品探针。一个或多个冷却构件热联接至容器以产生沿容器纵轴的热梯度。通气部沿容器的外部延伸,且构造成提供气流从通气部的入口至通气部的出口的路径。入口与容器的内部气体...
  • 描述了一种用于等离子体处理工具的等离子体产生电极阵列(200)。该等离子体处理工具包括处理室和处理室中的基底台(111),基底台用于在使用中支撑基底(104),在基底上要沉积和/或蚀刻材料。电极阵列包括多个接地电极(201,211,22...
  • 本发明提供了一种在低温冷却系统中降低噪声的方法,所述噪声与形成所述冷却系统的一部分的机械制冷机相关联。所述方法包括:在所述机械制冷机的运行期间监测所述冷却系统中的振动;以及基于监测的振动来调制机械制冷机的运行频率,以减小所述振动的振幅。...