本发明涉及光电材料技术领域，公开一种镁掺杂氧化锌磁控溅射靶材及其制备方法，其制备方法，包括步骤：(1)向氧化锌粉体中掺杂氧化镁粉体和第三氧化物粉体，混合后与乙醇溶液混合形成浆料；(2)将浆料球磨后干燥，过筛，得到成型用粉体；(3)将粉体...

本发明公开了一种多元掺杂的ZnO镀膜材料，所述多元掺杂的ZnO镀膜材料的原料组份包括：氧化锌粉体与掺杂氧化物粉体，其中，掺杂氧化物粉体质量/(氧化锌粉体质量+掺杂氧化物粉体质量)＝1～10wt％，同时，该掺杂氧化物粉体由第一掺杂组份与第...

本发明公开了一种高致密度的硅铝旋转靶材的制备方法，包括制备喷涂粉末、预处理靶材背管、对靶材背管喷涂打底层、用等离子喷涂工艺在靶材背管上制备硅铝靶材等步骤。其中，制备喷涂粉末的方法为：以质量百分比计，将90％‑92％的硅粉与8％‑10％的...

本发明公开了一种氧空位可控的大尺寸AZO磁控溅射靶材制备方法，包、AZO陶瓷坯体的成型、坯体高温烧结、切割和打磨成规定尺寸等步骤。本发明的优点是：所制的靶材尺寸大、较为致密、成本较低。

本发明涉及一种具有优良环境稳定性的氧化锌透明导电材料及其制备方法。具体地，本发明公开了一种氧化锌薄膜的制备方法，所述方法包括如下步骤：1)提供经掺杂的氧化锌基靶材；2)将所述经掺杂的氧化锌基靶材置于磁控溅射设备中，抽真空达到第一压力；3...

本发明涉及一种导电氧化钛陶瓷溅射靶材及其制备方法。具体地，本发明公开了一种氧化钛靶材的制备方法，包括如下步骤：1)提供改性的氧化钛纳米粉体；2)将所述改性的氧化钛纳米粉体压制成型为陶瓷坯体；3)在真空气氛或惰性气氛下，烧结处理所述陶瓷坯...

本实用新型涉及靶材生产观察保护装置领域，特别涉及一种用于大气等离子热喷涂室的观察保护装置，包括安装在大气等离子喷涂室墙壁上的观察窗口，观察窗口包括玻璃和密封条，密封条的两端分别与玻璃和墙壁紧密贴合，所述玻璃上贴合设置有一层防弧光薄膜，本...

本实用新型涉及大型喷涂旋转靶材的生产设备领域，特别涉及一种大型喷涂旋转靶材的喷砂防护装置，包括端部设有卡槽的靶材备管，还包括缓冲层和防护层，所述缓冲层覆盖卡槽的内壁和外壁，防护层套设在缓冲层的外侧，防护层通过锁紧件固定在靶材备管的端部，...

本实用新型涉及等离子喷涂旋转靶材的生产设备领域，特别涉及一种大气等离子喷涂旋转靶材实时观察装置，包括喷枪，还包括安装在喷枪上的摄像头固定件和摄影成像模块，摄影成像模块包括高速摄像头和上位机，高速摄像头通过数据线与上位机电连接，高速摄像头...

本发明涉及一种氧化锌基陶瓷溅射靶材及其制备方法和应用。具体地，本发明公开了一种氧化锌基靶材的制备方法，所述制备方法采用高浓度掺杂的氧化锌纳米粉体与纯氧化锌纳米粉体作为原料，可以实现极低含量的掺杂元素在所得靶材中的均匀分布，并且由于原料均...