本发明提供一种低密度ITO蒸镀靶材的制备方法，包括以下步骤：一、根据成分配比要求，将氧化铟与氧化锡进行混合得到混合粉体，然后掺入造粒助剂，得到ITO浆料；二、将ITO浆料进行造粒处理，得到ITO造粒粉体；三、将ITO造粒粉体分成两部分；...

本技术公开了一种靶材绑定翻转装置，其包括小车载体以及夹持组件，所述夹持组件包括安装板、驱动机构以及两个抱夹，所述安装板设置于所述小车载体的一侧，两个所述抱夹位于所述安装板在远离所述小车载体的一侧，两个所述抱夹垂直于所述安装板的侧壁且呈对...