本发明公开了一种电子级硅烷生产中在线脱除含卤素化合物杂质的系统和方法，属于高纯制备电子级硅烷技术领域，该系统的粗镏塔、脱轻塔和脱重塔的顶部均设置有冷凝器；粗镏塔的硅烷出口、输送泵和脱轻塔的硅烷入口经管路依次连接，脱轻塔底部的硅烷出口与分...

本发明公开电子气体液化后的液体低流量输送系统及其输送方法，通过控制器打开输出控制管路和气相控制管路，送液控制管路关闭，通过输出控制管路向磁力齿轮泵内输送电子气体液化后的液体，以对磁力齿轮泵进行预冷，电子气体液化后的液体经过与磁力齿轮泵热...

本发明公开了一种乙硅烷合成系统及方法，属于化学合成技术领域。该系统包括：包括：乙硅烷反应模块、氢气分离模块和乙硅烷分离模块，所述乙硅烷反应模块包括乙硅烷合成反应器、原料气‑产品气换热器、原料气加热器、产品气冷却器和硅烷循环压缩机，所述氢...

本发明公开了一种多晶硅生产中往复式氢气压缩机密封气结构，密封填料组件上分别开设有密封氢气进入通道

本发明公开了一种精准测量洗涤塔内液位的装置及方法，包括：反吹气转子流量计

本发明公开了一种用于输送液化后高纯电子气体的磁力齿轮泵，其包括：泵体，泵体内同轴设有连通的齿轮腔和轴承腔，齿轮腔内转动连接有一对齿轮转子，齿轮腔对应齿轮转子转动的两侧形成有低压区和高压区，泵体上设有连通低压区的进液口和连通高压区的出液口...

本发明公开了一种氢化反应残液回收处理系统及方法，属于废液回收处理技术领域

本发明公开了一种硅烷歧化塔生成高纯四氯化硅的连续出料装置及方法，该装置包括：歧化反应塔，其顶部和底部分别设有物料入口和四氯化硅出料口，歧化反应塔底部设有压力变送器、远传温度计和远传液位计，物料入口上设有进料阀和进料流量计；高纯度四氯化硅...

本发明公开了一种颗粒硅的流化除粉装置及其循环流化除粉系统，流化除粉装置包括流化除粉罐体；流化除粉罐体由上至下依次包括扩大段、中间段和锥形段；扩大段顶端具有物料进口和尾气出口，扩大段侧壁具有径向布置的加速气进口；锥形段上具有流化气通入口，...

本申请公开了一种裂解反应器，涉及流化床的技术领域，反应器壳体包括外壳体和内壳体，内壳体设有内腔；内腔包括进料段、扩大段及反应段，进料段设有晶种加料管，反应段设有气体分布装置，气体分布装置包括流化气进料管、反应气进料管和多晶硅分选孔。具体...

本申请公开了一种裂解反应器，涉及流化床的技术领域，反应器壳体包括外壳体和内壳体，内壳体设有内腔；内腔包括进料段、扩大段及反应段，进料段设有晶种加料管，反应段设有气体分布装置，气体分布装置包括流化气进料管、反应气进料管和多晶硅分选孔。具体...