本发明涉及真空电子器件，公开了一种测试吸气剂牢固度的简易装置及其使用方法，包括：吸气剂固定组件，用于固定作为测试样的吸气剂；抛物管道，由数个竖直的四方形铁管构成，用于按测试需求进行变更组装；接触台，放置在抛物管道的下方，用于测量测试样的...

本技术属于真空设备技术领域，具体地说是一种花瓣型吸气剂泵用吸气剂，包括吸气剂，所述吸气剂由固定圈和钛基吸气合金两部分组成，其中吸气剂外形为花瓣状，包含多个椭圆状瓣片，本技术提高吸气剂泵的稳定性及牢固度，可以更好地抵抗振动、冲击和其他外部...

本技术属于真空设备技术领域，具体的说是一种可以外加热的吸气剂泵，包括底圈，所述底圈顶端安装有压圈，所述底圈和压圈之间卡接连接有吸气剂片，所述底圈内部通过电焊焊接有弹片，所述底圈和压圈内部贯穿连接有外六角螺杆，所述外六角螺杆外表面位于压圈...

本技术涉及一种提高激活温度均匀性的薄膜吸气剂结构，其特征是吸气薄膜沉积在不锈钢、可伐等片装金属的两面，并且吸气剂的宽度在长度方向的两端有逐渐变窄的区域，宽带变窄至最大宽度的3/4到1/2，由于两端电流密度的提高，弥补了通过焊接位置的热传...

本技术公开了一种用于生产混合膜的薄膜吸气剂掩膜，包括不锈钢主体，所述不锈钢主体顶端的前后两侧对称开设有空腔，所述空腔底壁的中心固定安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆顶端的输出轴转动连接有基片，所述基片的左右两端均开设有侧槽，所述侧槽内部的...

本技术属于真空器件领域，具体地说是一种高性能、易激活吸气材料的生产设备，包括固定座；所述固定座顶端固定安装有真空烧结组件，所述真空烧结组件包括烧结炉、放置板、密封罩和真空抽气管，所述固定座顶端中部有与烧结炉底端固定连接，所述烧结炉一侧边...

本技术涉及吸气剂泵技术领域，且公开了一种吸气剂泵的串联结构，包括连接件一，所述连接件一的顶端设置有连接件二，所述连接件一和连接件二的内部设置有接线螺丝，所述接线螺丝顶部的表面螺纹连接有接线螺母；该吸气剂泵的串联结构具有一定的弯曲能力，可...

本技术属于吸气剂泵领域，具体的说是一种适用于光刻机的极高抽速洁净吸气剂泵，包括密闭石英管，所述密闭石英管装配有加热材料，加热材料装配有引线，密闭石英管装配有安装块，安装块设置有插槽和第一卡孔以及第二卡孔,插槽装配有伸缩弹簧，伸缩弹簧装配...

本技术公开了一种提高吸气效率的薄膜吸气剂结构，包括起始激活温度小于等于300℃的吸气合金层、不锈钢、可伐等基底层以及起始激活温度大于300℃的吸气合金层，通过PVD方法在不锈钢、可伐等厚度小于1mm的片状基底的两个相对表面分别沉积不同材...

本技术属于气体纯化领域，具体的说是一种吸气剂泵组成的两级惰性气体纯化器，包括下真空电极法兰；所述下真空电极法兰顶端固定安装有多级纯化组件，所述多级纯化组件包括第一吸气剂泵、真空管道、第二吸气剂泵和上真空电极法兰，所述下真空电极法兰顶端与...

本技术属于真空设备技术领域，具体地说是一种镰刀型阴极的复合泵，包括离子泵；所述离子泵顶端一体成型有法兰，所述法兰顶端安装有阳极筒，所述阳极筒顶端安装有吸气剂片，所述吸气剂片顶端安装有金属垫片，所述吸气剂片底端固定安装有底座，所述吸气剂片...

本发明涉及真空器件技术领域，具体为一种增强片状、板状或圆盘状的吸气剂牢固度的工艺方法。本发明要解决的技术问题为：对于一种片状，板状或圆盘状的吸气剂的牢固度增强，现有的方法适用性较差，需要在工艺上进行新的设计来满足相应需求。技术方案为：提...

本发明属于真空电子器件领域，具体的说是一种真空器件用的非蒸散型吸气剂，包括固定件，所述固定件装配有非蒸散吸气合金，非蒸散吸气合金装配有加固瓷层，非蒸散吸气合金装配有吸气合金涂层，吸气合金涂层装配有电阻丝，吸气合金涂层装配有固定盘，固定盘...

本发明属于真空器件领域，具体的说是一种带有多功能底座薄片的吸气剂，包括底座薄片，所述底座薄片贯穿设置有多个螺纹孔，紧固螺栓上固定装配有卡板，卡板的侧面均设置有卡槽，底座薄片上固定装配有多个竖块，竖块上均设置有滑槽，滑槽上均固定装配有竖杆...

本发明涉及电子元件材料技术领域，具体为一种可重复使用大容量吸水剂及其生产工艺。本发明要解决的技术问题为：现有技术所存在的吸水容量不高的技术问题。技术方案为：提供一种可重复使用大容量吸水剂及其生产工艺，包括装置底板。本发明的有益效果是：本...

本发明公开了一种大容量吸气薄膜，包括吸气层，所述吸气层中均匀混合有添加物质，所述添加物质是由钙酰亚胺、镍和稀土混合而成，所述吸气层包括有基底，所述吸气层的材质为钛钡合金薄膜，所述钛钡合金薄膜是通过钛原子、钡原子在基底表面沉积所产生的膜，...

本发明涉及真空获得维持技术领域，具体为一种应用于极紫外光刻机的吸气材料及其制备方法，本发明要解决的技术问题为：现有的吸气材料在生产工程中，真空烧结的工艺在烧结吸气材料时，无法将多余的热量进行余热回收利用，技术方案为：包括主体机构，所述烧...

本发明涉及真空电子器件技术领域，具体为一种内置了小型化热子的吸气剂及其生产工艺，本发明要解决的技术问题为：热子体积大，造成吸气剂体积难以缩小，技术方案为：提供一种内置了小型化热子的吸气剂及其生产工艺，包括工作台和烧结炉，本发明的有益效果...

本发明涉及一种提升含碳气体吸气容量的吸气薄膜，通过PVD方法在不锈钢、可伐、硅、锗、陶瓷的基底表面沉积0.1

本发明涉及一种低温激活的大容量吸气薄膜：通过溅射或蒸镀的方法在不锈钢、可伐、硅、锗、陶瓷等基底表面沉积一层钛锆钴合金薄膜，其中钛与锆的原子比从1:5到5:1，钛加锆与钴的原子比为20:1到3:1。本发明的优点：激活温度可低至200℃；吸...