本公开的实施例提供一种MEMS压力传感器非线性校正方法、系统、设备及介质。方法包括：获取MEMS压力传感器的输出值；将所述输出值输入预先建立的非线性校正模型，得到MEMS压力传感器的非线性校正值；其中，所述非线性校正模型通过模因粒子群优...

本公开的实施例提供一种MEMS压力传感器温漂补偿方法、系统、设备及介质。方法包括：获取MEMS压力传感器的压力值和环境温度值；将所述压力值和所述环境温度值输入预先建立的温漂补偿模型，输出得到MEMS压力传感器的补偿值；其中，所述温漂补偿...

本公开的实施例提供一种制冷剂浓度传感器，包括：栅格部、紧固部和电子仓部；所述紧固部一端与所述栅格部连接，另一端与所述电子仓部连接；所述紧固部包括感应探头；所述电子仓部包括微控单元；其中，所述感应探头与所述微控单元可拆卸连接，所述微控单元...

本公开的实施例提供一种MEMS压阻式压力传感器及其制备方法，传感器包括：层叠设置的第二衬底和第一衬底；第二衬底和第一衬底之间设置有空腔；对应于空腔区域的第一衬底部分形成有压力敏感薄膜；绝缘层和电极层，分别设置于第一衬底上表面；储气囊，设...

本公开的实施例提供一种无线压力传感器温度补偿与标定方法、系统、设备和介质。所述方法包括：将所述程控温箱内的温度调整至预定的测试温度；向无线压力传感器施加测试压力；通过无线传输协议获取所述无线压力传感器的第一压力采样值和第一温度采样值；根...

本公开的实施例提供一种MEMS压阻式加速度计及制备方法，加速度计包括：下基底；第一衬底，设置于下基底，第一衬底设置有贯穿其厚度的空腔；第二衬底和钝化层，第二衬底设置于第一衬底的上表面，钝化层设置于第二衬底的上表面；其中，第二衬底和钝化层...

本发明提供的具有热磁式测温结构的MEMS微热板式气体传感器及其制备方法，涉及传感器领域；传感器包括衬底和设置在衬底上方的膜片结构；膜片结构包括自下而上层叠设置的钝化层、加热电极、永磁薄膜层、第一传热绝缘层、热检测电极、第二传热绝缘层、气...

本公开的实施例提供一种MEMS压电式振动能量收集器及制备方法，包括：衬底，设置有贯穿其厚度的空腔；依次层叠设置于衬底上表面的氧化层、钝化层和介质层，及嵌设于由钝化层和介质层构成的结构层内的下极板、压电层和上极板；上述六者共同构成形变梁；...

本公开的实施例提供一种MEMS压力传感器，包括：传感器本体和芯片，传感器本体具有容纳空间，芯片设于容纳空间内，传感器本体的外侧形成有密封槽，传感器本体上形成有隔离槽，隔离槽沿传感器本体的径向设于芯片与密封槽之间，隔离槽与密封槽为同心设置...

本公开的实施例提供一种MEMS压力传感器，包括：传感器本体，传感器本体具有开口的容纳空间；信号采集组件，部分信号采集组件设于容纳空间内且背离容纳空间的开口端；膜片，膜片覆盖容纳空间的开口端；阻挡件，阻挡件固设于容纳空间内，阻挡件位于膜片...

本公开的实施例提供一种MEMS电容式温湿度集成传感器及制备方法，传感器包括：体硅层，设置有贯穿其厚度的下空腔；依次层叠设置于体硅层的埋氧层、器件层、第一介质层和第一电极层；温度敏感层，设置于下空腔内，且位于第一介质层和第一电极层之间；其...

本公开的实施例提供一种基于SVM的MEMS压力传感器非线性矫正方法、装置和电子设备，所述方法包括：根据非线性误差传递函数，建立MEMS压力传感器的SVM非线性误差补偿模型；获取所述MEMS压力传感器的实际输出参量和实际环境影响参量；将所...

本公开的实施例公开了一种MEMS压力传感器及其温漂补偿方法和装置。所述方法包括：获取MEMS压力传感器的实际压力值和实际温度值；将所述MEMS压力传感器的所述实际压力值和所述实际温度值输入预先训练的基于BP神经网络的温漂补偿模型，预测得...

本公开的实施例公开了一种MEMS压阻式压力传感器及其制备方法，包括第一衬底、第二衬底、第一钝化层、第二钝化层、第一逆压电单元、压阻单元和第一引线及焊盘；第一衬底设置有空腔，并固定于第二衬底；第一钝化层设置于第一衬底背离第二衬底的一侧，内...

本公开的实施例公开了一种MEMS磁阻式磁传感器及制备方法。包括：第一衬底，第一表面设置有空腔；钝化层，设置于第一衬底的第二表面；磁敏电阻和压敏电阻，内嵌于钝化层背离第一衬底的表面，并且磁敏电阻和压敏电阻的位置与空腔相对应；磁导层，设置于...

本公开的实施例公开了一种MEMS压力传感器及其制备方法。包括：第一衬底，依次设置于其第一表面的缓冲层和发光二极管，依次设置于第一衬底的第二表面的钝化层和第一引线及焊盘，以及围设于发光二极管周围的第一连接层，第一衬底设置有传压窗口；第二衬...

本公开的实施例公开了一种MEMS热损失型流量传感器及其制备方法。包括：第一衬底和第二衬底，所述第二衬底的第一表面设置有变横截面面积的凹槽，所述第二衬底的第一表面与所述第一衬底的第一表面键合形成变横截面面积的流道；绝缘层，设置在所述第一衬...

本公开的实施例公开了一种MEMS加速度与压力集成传感器及其制备方法。包括：第一衬底，设置有空腔；设置于第一衬底的埋氧层、器件层和第一钝化层，三者对应空腔的部分形成敏感薄膜；第一压敏电阻和第一欧姆接触区，内嵌于器件层的表面；设置于第一钝化...

本实用新型提供一种O型圈的安装工具，包括推杆、弹簧、导杆和固定杆；所述推杆具有相对的第一侧面和第二侧面，所述推杆设置有贯穿第一侧面的第一安装孔；所述导杆的第一端伸入所述第一安装孔内，并在所述导杆的第一端和所述推杆的内壁之间活动连接所述弹...

本公开实施例提供一种MEMS加速度计及其制备方法。MEMS加速计包括：衬底；支撑柱，设置于衬底；第一连接梁，设置于支撑柱背离衬底的一侧；第二连接梁，设置于衬底并与第一连接梁相对间隔设置；感应元件和质量块，均设置于第二连接梁；双材料弹性支...