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纳科新株式会社专利技术
纳科新株式会社共有1项专利
具有实时可变功能的暗场检测装置制造方法及图纸
本发明涉及一种暗场检测装置,更具体地,涉及一种可以使照明光的波长能够发生改变,并且可以选择性地接收散射光的波长,而且可以调节照明光的照射区域的暗场检测装置。根据本发明的一实施例的暗场检测装置,其包括:照明部,用于向样品照射照明光,以及收...
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