本申请公开了一种带电粒子束设备以及真空结构。其中用于带电粒子束设备的真空结构，包括：第一真空腔室(10)以及通过压差光阑(30)与第一真空腔室(10)连通的第二真空腔室(20)，其中第一真空腔室(10)用于容纳带电粒子的发射体(60)，...

本申请公开了一种电子探测器，包括：闪烁体；设置于闪烁体后侧的光导管；以及设置于光导管后侧的光电倍增管，其中闪烁体用于接受电子的轰击发射光子；光导管用于将光子投射至光电倍增管，并且电子探测器还包括在以下的至少一个位置处设置的增透膜：闪烁体...

本申请公开了一种电子探测器(10)，包括：闪烁体(120)；设置在闪烁体(120)后侧的光学透镜组(130)；以及设置在光学透镜组(130)后侧的光电倍增管(150)，其中闪烁体(120)用于接受电子的轰击发射光子；光学透镜组(130)...

本申请公开了一种电子显微镜系统，用于生成多个电子束(50)对样品(40)进行扫描，包括：多电子束形成子系统(10)以及多电子束扫描子系统(20)，其中多电子束形成子系统(10)用于形成多个电子束(50)，多电子束扫描子系统(20)用于将...

本申请公开了一种电子探测器(10)，包括：闪烁体(120)；设置于闪烁体(120)后侧的光导管(130)；以及设置于光导管(130)后侧的光电倍增管(150)，其中闪烁体(120)用于接受电子的轰击发射光子；光导管(130)设置有纵向延...

本申请公开了一种电子源，包括：第一导体(30a)、第二导体(30b)、发射尖端(10)、第一灯丝(20)以及第二灯丝(50)，其中发射尖端(10)用于加热后发射电子；第一导体(30a)和第二导体(30b)与电源连接，用于向发射尖端(10...