本申请公开了一种微机电结构，微机电结构包括固定部、移动部、电致件以及制动件，移动部与固定部之间形成有间隔空间，间隔空间作为移动部的移动空间；制动件对应间隔空间设置；电致件连接制动件，为制动件通电或断电；在电致件通电时，制动件变形，至少部...

本发明公开了一种被配置为提供多轴移动的多轴MEMS组件，该多轴MEMS组件包括：第一平面内MEMS致动器，被配置为能够沿至少X轴移动；以及第二平面内MEMS致动器，被配置为能够沿至少Y轴移动；其中，第一平面内MEMS致动器被耦合至第二平...

本发明公开了一种多轴MEMS组件。该多轴MEMS组件包括被配置为提供三轴直线移动的微机电系统(MEMS)致动器以及连接到该微机电系统(MEMS)致动器的光电器件。该微机电系统(MEMS)致动器包括：平面内MEMS致动器和包括多形态压电致...

本发明公开了一种多轴MEMS组件。该多轴MEMS组件包括被配置为提供三轴直线移动的微机电系统(MEMS)致动器以及连接到微机电系统(MEMS)致动器的光电器件。其中该微机电系统(MEMS)致动器包括：平面内MEMS致动器和平面外MEMS...

本发明公开了一种配置为提供多轴移动的微机电系统(MEMS)致动器，该微机电系统(MEMS)致动器包括：第一部分、第二部分以及锁定组件，其中该第一部分和该第二部分相对于彼此可位移，该锁定组件被配置为可释放地连接该第一部分和该第二部分，以削...

一种生成压电致动器的方法包括：在刚性衬底上形成压电构件；以及去除刚性衬底的一个或多个部分以在刚性衬底中形成一个或多个间隙，从而限定压电构件的至少一个可变形部分和压电构件的至少一个刚性部分。

本发明公开了一种多轴MEMS组件。该多轴MEMS组件包括被配置为提供三轴直线移动的微机电系统(MEMS)致动器以及与该微机电系统(MEMS)致动器连接的光电器件。该微机电系统(MEMS)致动器包括：平面内MEMS致动器和平面外MEMS致...

系统和方法提供了致动器控制。致动器控制经由与电压控制相反的电荷控制提供。用于驱动致动器的驱动器可以包括用于将电荷注入到致动器的一个或多个电容元件中的电荷泵。驱动器可以进一步包括用于检测致动器的电容元件的电容的电容检测方面以确定致动器的位置。

本发明公开了一种多轴MEMS组件，包括：被配置为提供三轴直线移动的微机电系统(MEMS)致动器，以及与该微机电系统(MEMS)致动器连接的光电器件。

微机电系统(MEMS)悬臂组件包括中间悬臂部分，配置为连接微机电系统(MEMS)的可移动部分和中间悬臂部分的主悬臂，以及配置为将中间悬臂部分连接至微机电系统(MEMS)的一部分的多个中间连杆。

一种制造微机电系统(MEMS)组件的方法包括将微机电系统(MEMS)致动器安装到一金属板。将图像传感器组件安装到微机电系统(MEMS)致动器。图像传感器组件电连接到微机电系统(MEMS)致动器，从而形成微机电系统(MEMS)子组件。