一种用于单晶炉一体化电极脚安装的矫正装置，包括两个相对设置的端板，端板具有能够与电极脚弧形侧面相贴合的弧形面，两个端板之间设置有若干个能够支撑端板并使其弧形面与相应电极脚弧形侧面相贴合的侧板，本技术，能够对电极脚的安装进行矫正，保证电极...

一种重掺单晶炉主炉室测温装置，所述主炉室侧壁开设有测温孔，测温装置设置在主炉室外侧且位于测温孔处，测温装置包括玻璃和用于检测主炉室内温度的测温仪，玻璃位于测温仪和主炉室之间，测温仪的激光束与测温孔的中心线重合，玻璃与主炉室外侧壁之间设置...

一种提高晶棒纵向氧含量均匀性的单晶炉，包括炉体和设置在炉体内的坩埚，坩埚外侧壁套设有加热器，炉体内设置有用于承托坩埚的支撑轴，所述支撑轴上设置有位于坩埚下方且用于将热量反射至坩埚底部的反射装置，反射装置包括沿支撑轴高度方向分布且与支撑轴...

一种直拉单晶硅生产用大直径多晶硅盛放装置，包括底板、盛放主体、转运把手和罩盖，底板上开设有散热通孔，在盛放主体的外侧壁上镂空开设有多个散热窗，盛放主体由左构件和右构件配合对接组成，右构件的对接端向外延伸设置有锥台状结构的连接件，且该锥台...

一种气动排水阀气动机构与阀门连接用的装配工装：包括连接框架和转动设置在连接框架内的连接轴；连接框架靠近气动机构的一侧板通过多个固定螺栓固定于气动机构上，该侧板中部开设有第一穿孔，第一穿孔与设置在气动机构上的执行孔贯通；连接框架与第一穿孔...

一种可高效更换金属定位条的晶柱粘接用夹持工装，涉及硅片加工技术领域，包括移动载板以及设置在移动载板上的固定金属条、固定挡块、金属定位条和传感器，移动载板上开设有定位孔，金属定位条上开设有沉头孔，沉头孔和定位孔供螺钉配合将金属定位条定位在...

本技术公开一种便携式无伤取片工具，包括用于吸附硅片的吸盘，吸盘下方水平设有手持杆，手持杆内腔设有气囊；气囊位于手持杆内腔且靠近吸盘的一端通过气囊连接管道与吸盘底部紧密配合，气囊顶部穿过手持杆外壁延伸至手持杆外部，位于气囊上方水平设有方管...

本技术公开一种立式背封炉用断裂气体喷射管提取装置，包括伸缩杆，所述伸缩杆的顶部设置有细杆，所述细杆用于伸入断裂气体喷射管的小孔内；位于伸缩杆的一侧设置有用于放置摄像头的摄像头支架，所述摄像头通过万向轴承与摄像头支架的顶部相连接，通过调整...

一种用于拉制大直径晶棒的单晶炉排气系统，包括集气外环，集气外环的顶端和底端朝向其中心垂直弯折形成折弯部，位于顶端的折弯部边缘设置有集气顶环，位于底端的折弯部边缘设置有集气底环，集气顶环和集气底环之间设置有至少两个垫块，垫块、集气外环、折...

一种辅助清洁重掺单晶炉的废气收集装置，涉及废气收集技术领域，包括收集筒以及与收集筒密封连通的输送管，收集筒与单晶炉主体的主炉室对接口间隙配合，输送管用于将收集筒与废气处理系统连通，令废气处理系统的抽吸力传递到收集筒处，从而提高收集筒收集...

一种重掺单晶炉副炉废气收集装置，涉及废气收集技术领域，包括收集腔以及与收集腔密封连通的传输管，收集腔用于与单晶炉主体的副炉室平开门进出口对接，收集腔固定在用于将收集腔高度与副炉室平开门进出口对齐的支撑架上，支撑架固定在底架上，底架底面四...

一种接口保护罩，包括防护罩体，防护罩体为弧形结构，防护罩体一端部设置有固定箍环和活动箍环，活动箍环与固定箍环的弧口相对分布；活动箍环一端铰接在防护罩体上，另一端用于与固定箍环固定连接合围形成固定腔。本技术能够阻挡由上至下施加于管道与电线...

一种硅片搬送手臂，包括板状的手臂本体，手臂本体的背面开设有沿长度方向延伸的凹槽，凹槽的一端的底部开设有若干个沿手臂本体的厚度方向延伸的吸口，且所有吸口贯通手臂本体的正面，凹槽的另一端的连通有若干第一连接槽，所述手臂本体上设置有与手臂本体...

一种8寸硅片背面损伤程度调整用喷射器，包括喷射管体和喷射头，喷射头的前端开设有喷孔，在喷射器的前部设有用于调整喷孔开度的调节机构，调节机构包括沿喷射器横向分布的封板和沿喷射器纵向分布的两根螺柱，封板上开设有供其中一根螺柱转动配合的轴孔、...

一种硅片去边机缓冲台，包括吸片台、支撑柱和底座，吸片台通过支撑柱固定连接在底座上方，所述支撑柱和底座之间设有用于调整吸片台水平的柔性联结器，柔性联结器包括与支撑柱固定连接的第一连接板和与底座固定连接的第二连接板，第一连接板和第二连接板通...

一种切片清洗机自动供液装置，包括供液车、液位传感器以及设在供液车上的供液罐，供液罐与供液车之间设有定量电子称重器，供液罐上连通有具有计量泵的供液管道，液位传感器的数据输出端通过信号线与计量泵控制端连接，所述液位传感器设置在标有位置刻度的...

一种显微镜载物台移动用的传动导向组件，包括导向轮、导向连杆以及转动手轮，所述导向轮包括套筒以及设在套筒一端的槽轮，槽轮与套筒同轴设置；导向连杆下端部与转动手轮之间通过传动带传动连接，所述导向连杆包括小径部和大径部，小径部的外壁设置有外螺...

一种高效精准定位的粘接工装，涉及硅片加工技术领域，包括粘晶棒限位器以及设置在粘晶棒限位器上的红外传感器所述红外传感器连接有螺旋微调器，螺旋微调器与固定在粘晶棒限位器上的固定台固定连接，螺旋微调器用于精准调整红外传感器的位置，螺旋微调器包...

一种硅片切割接料槽，包括接料槽本体以及设置在接料槽本体两侧上端的上边缘延伸板，上边缘延伸板竖向滑动在接料槽本体上，上边缘延伸板的两端下方均设有与其下端面接触的凸轮，凸轮的圆心上开设有供螺栓栓体穿过的通孔，接料槽本体上设有与通孔对应的螺孔...

一种保持研磨液均匀的12寸晶圆研磨抛光系统，包括研磨液配置房、多个硅片研磨抛光机、主管路及子管路，任一子管路均包括两根并联支管，同一子管路中的两根并联支管通过进液三通阀与主管路相连，并通过排液三通阀与硅片研磨抛光机相连，任一并联支管上均...