本实用新型是一种大型数控等离子化学气相沉积装置，主要由高频电源、流量计、气瓶及设置在主机柜内的机械泵、罗茨泵、蝶阀、升降机械等构成。其中在主机柜的上部设置一带上下封头的真空室，其内室直径为１０００ｍｍ－２０００ｍｍ，主机柜可直接与电脑控...

一种卧式多层陶瓷薄膜气相沉积装置，包括沉积室（１）、支架（１０）以及设置在内支架（１０）内的蝶阀（７）、罗茨泵（８）、机械泵（９），其特征是：在所述的支架（１０）上横卧有沉积室（１），沉积室（１）的两端设有封头（４），在沉积室（１）内部...

一种立式多层陶瓷薄膜沉积装置，包括上封头（１）、沉积室中段（１４）、下封头（１５），以及设置在主机柜（１３）内的升降机（８）、罗茨泵（１０）、机械泵（１１），其特征是：在所述的主机柜（１３）的上部设置有沉积室中段（１４），沉积室中段（１...