本发明提供了一种氯硅化物的纯化方法和纯化系统。氯硅化物为含有硼磷杂质的二氯二氢硅、三氯氢硅或四氯化硅，纯化方法包括：步骤S1，对氯硅化物进行第一次精馏，得到精馏液相氯硅化物；步骤S2，利用吸附剂对精馏液相氯硅化物进行处理，得到吸附后液相...

本发明提供了一种循环水系统，包括：循环泵、冷却塔、高位水箱和用水设备，循环泵、冷却塔、高位水箱和用水设备依次连接并形成循环管路，用水设备与循环泵之间通过第一连通管道连通；补水管道，补水管道上设置有第一阀门，补水管道与第一连通管道相连通。...

本发明公开了一种光纤用四氯化硅在线检测装置。该检测装置包括待检测产品输送装置、氮气吹扫装置、样品池以及红外检测仪，样品池通过连接管路选择性地与待检测产品输送装置或氮气吹扫装置相连通；红外检测仪用以对样品池中的光纤用四氯化硅进行检测。该检...

本发明公开了一种光纤级四氯化硅及其制备方法。其中，该制备方法包括以下步骤：S1，将粗四氯化硅原料送入第一四氯化硅粗馏塔，低沸物通过塔顶物流管线进行脱除，得到的第一塔釜液输送至第二四氯化硅粗馏塔；S2，第一塔釜液经过第二四氯化硅粗馏塔分离...

本发明公开了一种超高纯四氯化硅的制备方法。该制备方法包括以下步骤：S1，将高纯四氯化硅在氮气作用下连续通入光化学反应器内；S2，在紫外光照条件下，连续向光化学反应器内通入氯气，使高纯四氯化硅中的含氢杂质与氯气发生光氯化反应，得到初级产品...

一种三氯氢硅合成产物加压冷凝的生产工艺是在压缩前水冷却器、压缩前深冷却器、氢压机、压缩后深冷却器、合成产品储罐和尾气干法回收系统实施，生产工艺包含压缩前水冷、压缩前深冷、氢压机加压、压缩后深冷和尾气干法回收五道工序。本发明有效提高了三氯...

一种三氯氢硅合成尾气的干法回收方法是将合成尾气送入缓冲罐，缓冲罐压力０．３～０．８ＭＰａ。吸附系统由并联两台吸附塔构成，一台处于吸附状态，另一台处于再生状态，分别配备有进、出口控制阀门，吸附剂为活性炭。合成尾气进入吸附状态吸附塔内，塔内...