本实用新型公开了一种氯硅烷净化回收设备。其中，该设备包括：动力单元，提供过滤单元反冲洗时的瞬间动力；过滤单元，包括一个或多个并联设置的精密过滤器；以及残液处理单元，设置在过滤单元的下游，用于处理残液。应用本实用新型的技术方案，氯硅烷净化...

本发明公开了一种氯硅烷净化回收设备及方法。其中，该设备包括：动力单元，提供过滤单元反冲洗时的瞬间动力；过滤单元，包括一个或多个并联设置的精密过滤器；以及残液处理单元，设置在过滤单元的下游，用于处理残液。应用本发明的技术方案，氯硅烷净化回...

本发明公开了一种制备电子级二氯二氢硅的装置。该装置包括：反应精馏塔，装填有催化三氯氢硅进行歧化反应的歧化催化剂；提纯塔，用于将反应精馏塔中的反应产物先脱除轻组分再脱除重组分得到提纯产品；以及吸附提纯单元，用于将提纯产品进一步去除杂质，得...

本发明公开了一种制备电子级二氯二氢硅的方法。该方法包括以下步骤：S1，将三氯氢硅产品加入装填有歧化催化剂的反应精馏塔进行反应精馏，得到的反应产物；S2，将反应产物脱除轻组分和重组分得到提纯产品；S3，将提纯产品送入吸附提纯单元，进一步去...

本实用新型提供了一种六氯乙硅烷的回收装置。该六氯乙硅烷的回收装置包括：过滤单元，具有多晶硅残液入口和滤液出口；第一精馏单元，与过滤单元的滤液出口相连对过滤单元得到的滤液进行精馏，具有第一塔顶精馏液出口；第二精馏单元，与第一精馏单元的塔顶...

本实用新型提供了一种在线取样装置。该在线取样装置包括吹扫管路、进样管路、取样管路、尾气管路、保护容器以及取样容器，在线取样装置包括吹扫状态和取样状态，在吹扫状态时，吹扫管路通过依次相连的取样管路和保护容器与尾气管路相连通；在取样状态时，...

本实用新型公开了一种制备电子级二氯二氢硅的装置。其中，该装置包括：反应器，用于芳香醛或芳香醛的衍生物与原料二氯二氢硅进行反应；提纯塔，用于将反应器中的反应产物先脱除部分重组分、再脱除轻组分和剩余的重组分得到电子级二氯二氢硅；以及吸附提纯...

本实用新型公开了一种制备电子级三氯氢硅的装置。其中，该装置包括：反应器，用于芳香醛或芳香醛的衍生物与原料三氯氢硅进行反应；提纯塔，用于将反应器中的反应产物先脱除部分重组分、再脱除轻组分和剩余的重组分得到电子级三氯氢硅；以及吸附提纯单元，...

本发明提供了一种在线取样方法，该在线取样方法通过在线取样装置进行在线取样，在线取样装置包括：吹扫管路、进样管路、取样管路、尾气管路、保护容器以及取样容器，在线取样方法包括：将吹扫管路、取样管路、保护容器以及尾气管路依次连通，利用吹扫管路...

本发明公开了一种制备电子级二氯二氢硅的方法。其中，该方法包括以下步骤：S1，将芳香醛或芳香醛的衍生物与原料二氯二氢硅进行反应，得到的反应产物；S2，将反应产物先脱除部分重组分，再脱除轻组分和剩余的重组分得到提纯产品；S3，将提纯产品送入...

本发明公开了一种制备电子级三氯氢硅的方法。其中，该方法包括以下步骤：S1，将芳香醛或芳香醛的衍生物与原料三氯氢硅进行反应，得到的反应产物；S2，将反应产物先脱除部分重组分，再脱除轻组分和剩余的重组分得到提纯产品；S3，将提纯产品送入吸附...

本发明提供了一种六氯乙硅烷的回收方法。该回收方法包括：步骤S1，对多晶硅残液进行过滤，得到滤液和含固体颗粒和金属聚合物杂质的滤渣；步骤S2，对滤液进行第一次精馏，去除含无定形硅和金属的杂质，得到第一塔顶精馏液；步骤S3，对第一塔顶精馏液...

本发明提供了一种六氯乙硅烷的回收装置。该六氯乙硅烷的回收装置包括：过滤单元，具有多晶硅残液入口和滤液出口；第一精馏单元，与过滤单元的滤液出口相连对过滤单元得到的滤液进行精馏，具有第一塔顶精馏液出口；第二精馏单元，与第一精馏单元的塔顶精馏...

本发明公开了一种制备电子级三氯氢硅的装置。其中，该装置包括：反应器，用于芳香醛或芳香醛的衍生物与原料三氯氢硅进行反应；提纯塔，用于将反应器中的反应产物先脱除部分重组分、再脱除轻组分和剩余的重组分得到电子级三氯氢硅；以及吸附提纯单元，用于...

本发明提供了一种在线取样装置。该在线取样装置包括吹扫管路、进样管路、取样管路、尾气管路、保护容器以及取样容器，在线取样装置包括吹扫状态和取样状态，在吹扫状态时，吹扫管路通过依次相连的取样管路和保护容器与尾气管路相连通；在取样状态时，进样...

本发明公开了一种制备电子级二氯二氢硅的装置。其中，该装置包括：反应器，用于芳香醛或芳香醛的衍生物与原料二氯二氢硅进行反应；提纯塔，用于将反应器中的反应产物先脱除部分重组分、再脱除轻组分和剩余的重组分得到电子级二氯二氢硅；以及吸附提纯单元...

本发明提供了一种氯硅化物的纯化方法和纯化系统。氯硅化物为含有硼磷杂质的二氯二氢硅、三氯氢硅或四氯化硅，纯化方法包括：步骤S1，对氯硅化物进行第一次精馏，得到精馏液相氯硅化物；步骤S2，利用吸附剂对精馏液相氯硅化物进行处理，得到吸附后液相...

本发明提供了一种循环水系统，包括：循环泵、冷却塔、高位水箱和用水设备，循环泵、冷却塔、高位水箱和用水设备依次连接并形成循环管路，用水设备与循环泵之间通过第一连通管道连通；补水管道，补水管道上设置有第一阀门，补水管道与第一连通管道相连通。...

本发明公开了一种光纤用四氯化硅在线检测装置。该检测装置包括待检测产品输送装置、氮气吹扫装置、样品池以及红外检测仪，样品池通过连接管路选择性地与待检测产品输送装置或氮气吹扫装置相连通；红外检测仪用以对样品池中的光纤用四氯化硅进行检测。该检...

本发明公开了一种光纤级四氯化硅及其制备方法。其中，该制备方法包括以下步骤：S1，将粗四氯化硅原料送入第一四氯化硅粗馏塔，低沸物通过塔顶物流管线进行脱除，得到的第一塔釜液输送至第二四氯化硅粗馏塔；S2，第一塔釜液经过第二四氯化硅粗馏塔分离...