本申请涉及氧化锡陶瓷靶材技术领域，具体公开了一种高性能掺杂氧化锡陶瓷靶材及其制备方法。一种高性能掺杂氧化锡陶瓷靶材的制备方法，包括如下步骤：1）将水、粉体分散剂、研磨润滑剂混合均匀，然后加入氧化钽、氧化锑、氧化锌、氧化锰、氧化钴、氧化锡...

本技术涉及一种旋转靶拼接缝的清理装置，包括旋转靶夹具，旋转靶夹具用于从待清理靶材的两端夹持待清理靶材；清理组件，清理组件具有可转动内环，所述可转动内环上安装有刀具组件，可转动内环带动刀具组件围绕待清理靶材转动，以刮除待清理靶材接缝处的残...

本发明涉及加热炉技术领域，尤其涉及一种用于靶材绑定的加热炉及靶材绑定工艺，该一种用于靶材绑定的加热炉包括上炉体、下炉体、设于上炉体和下炉体之间的至少一个中间炉体，下炉体内开设有滑入槽，滑入槽与固定螺杆适配以使固定螺杆沿滑入槽滑入圆槽内；...

本发明公开了一种高密度氧化镍基旋转靶材及其制备方法，该旋转靶材包括氧化镍和掺杂氧化物，所述氧化镍的质量分数不小于95.0wt%，掺杂氧化物的总质量分数不高于7.5wt%，所述掺杂氧化物选自氧化锌、氧化锶、氧化锡中的至少两种，且选择对应氧...

本技术涉及一种ITO旋转靶材素坯加工芯棒装置，主要由芯棒支撑轴、聚氨酯气囊、气囊定位环、压力控制阀组成，能够对ITO旋转靶材素坯起到柔性支撑的作用，通过该装置的使用，可以提升ITO旋转靶素胚加工的稳定性，减小素胚与芯棒之间的应力，能够减...

本发明涉及陶瓷材料技术领域，尤其涉及一种陶瓷靶材及其制备方法和应用。本发明提供了一种陶瓷靶材，按照质量百分比计，包括以下制备原料：主氧化物98～99.5％和掺杂氧化物0.5～2％；所述主氧化物为氧化铟；所述掺杂氧化物包括氧化铈、氧化钪、...

本技术涉及一种旋转靶材加工支撑芯棒，中心棒与外支撑套沿中心棒的径向方向滑动连接，通过外支撑套的滑动来实现芯棒直径的调节，外支撑套的两端为斜面，中心棒的两端均滑动地安装有与外支撑套的斜面抵触连接的调节头，两个调节头的相向滑动使得外支撑套被...

本申请涉及一种ITO旋转靶材烧结防护装置，包括四个基座柱，四个基座柱呈矩形布置，相对的两个基座柱之间穿设有限位梁，相邻的两个限位梁上下交错布置，每个限位梁两端分别伸出基座柱且伸出的端部上设有限位杆，基座柱和限位梁均为空心结构。本申请能够...

本申请涉及一种自动加料振实装置，包括储料斗、震动平台和螺旋送料装置，储料斗下端设有出料管，储料斗内用于储存旋转靶粉粒，震动平台设置在储料斗一侧，震动平台上设有用于夹紧旋转靶模具的夹紧组件，螺旋送料装置由下向上倾斜设置，螺旋送料装置具有下...

本发明公开了一种镓铝掺杂氧化锌靶材及其制备方法和应用，其制备步骤包括：将主元氧化物混合粉体、改性剂、晶粒细化剂、分散剂、粘结剂、润湿剂和水置于搅拌桶内搅拌混合均匀形成混合浆料；将混合浆料通入研磨机研磨充分；研磨得到的混合浆料通入喷雾造粒...

本申请涉及一种ITO平面靶材冷等静压成型模具，包括：模具本体，其外部包裹设有用于防水的防水膜，模具本体包括上模、下模以及设置在上模和下模之间的中空腔模，上模、下模和中空腔模围成用于填充靶材粉料的填充腔，填充腔与所需制作的平面靶素坯形状相...

一种管状ITO靶材成型模具的固定装置，包括上固定板、下固定板和多根拉杆，拉杆上设置有锁紧部件，拉杆和锁紧部件将上固定板和下固定板连接，上固定板和下固定板夹紧位于两者之间的管状ITO靶材成型模具。该装置可以将模具的上端盖、下端盖保持夹紧，...

本发明公开了一种锌掺杂氧化铟粉体及其制备方法，该粉体的制备方法为将金属铟在惰性气氛下加热熔融并雾化为蒸汽铟，并将其通入有机酸溶液中进行化学溶解，得到有机酸铟溶液；向有机酸铟溶液加入醇，经过离心、洗涤、干燥得到氢氧化铟沉淀；将纳米氧化锌分...

本实用新型公开了一种ITO旋转靶材成型装置，包括粉仓及设置在粉仓下方的支撑架，粉仓包括粉仓本体、密封组件及胶套，粉仓本体的两端分别设置有用于密封其上、下端口的密封组件，胶套设置在粉仓本体内，密封组件包括法兰盖、端盖及橡胶环，橡胶环套设在...

本发明公开一种太阳能电池用蒸镀靶材及其制备方法，所述蒸镀靶材包括以下质量分数的组分：氧化铟(In2O3)98.5

本申请涉及一种浆料搅拌装置，包括：U形筒体、搅拌轴、驱动装置和真空泵，U形筒体上端开口，U形筒体上端设有密封盖且与密封盖形成容纳腔，U形筒体底部设有出料口，出料口处设有密封螺栓，搅拌轴竖直设置在容纳腔内，搅拌轴外壁上水平设有第一搅拌盘，...

本申请涉及一种ITO旋转靶材成型外圆固定装置，包括：第一固定套和多个第二固定套，第一固定套由两个第一半圆壳体通过第一连接件对接而成，第一半圆壳体外侧竖直设有多个第一固定杆，第一固定杆通过连接杆与第一半圆壳体外壁连接，第一固定杆下端设有支...

本申请涉及一种靶材绑定用靶管加热装置，包括：底座、固定套、三个温度传感器和三个温度控制器，固定套竖直设置在底座上，固定套外壁上从上到下依次间隔有上加热组件、中加热组件和下加热组件，三个温度传感器从上到下依次间隔设置在固定套外壁上，用于分...

本实用新型公开了一种ITO平面靶成型布粉刮平器，该刮平器用于对模腔中布满的粉料进行梳理及表面刮平，包括支撑架、操作手柄及刮平板，操作手柄设置在支撑架的上方，刮平板设置在支撑架的下方，且刮平板的两端分别通过摆动导杆与支撑架转动连接，支撑架...

本实用新型涉及一种旋转靶材表面打磨装置，包括管驱动电机、打磨组件、打磨组件驱动机构、背管内撑、背管顶杆和顶杆移动支撑组件，管驱动电机与背管内撑连接，顶杆移动支撑组件包括支撑座、滑道和滑块，背管顶杆与滑块内的微调组件连接，打磨组件包括滑动...