理想晶延半导体设备上海股份有限公司专利技术

理想晶延半导体设备上海股份有限公司共有51项专利

  • 本技术属于光伏电池镀膜设备领域,公开了一种水平石墨舟及用于水平石墨舟的缓存支撑装置,水平石墨舟包括石墨舟本体和两个支撑组件;两个支撑组件沿第一方向设置于石墨舟本体的两端,支撑组件包括对称设置的两个支撑单元,两个支撑单元设置于石墨舟本体沿...
  • 本技术公开了一种用于侧壁钝化镀膜设备的顶升装置,包括:动力机构,用于为顶升装置提供动力;设于动力机构的上方的动力转换机构,用于将动力机构提供的动力进行转换;设于动力机构的两侧的移动机构,用于在垂直方向上进行移动;与动力转换机构和移动机构...
  • 本发明涉及太阳能电池制造领域、铜基材石墨烯产品生产领域,提供一种石英舟、搬运设备、缓存设备以及搬运方法,石英舟包括若干连接杆和一对承载板;石英舟具有第一方向和第二方向,若干连接杆沿第一方向连接一对承载板,承载板在第二方向的两侧分别设有一...
  • 一种提高晶硅切片电池性能的低温ALD叠层钝化方法与设备,包括以下步骤:提供具有完整新侧切面的硅基电池样品,将多个电池片堆叠放置于片盒中,仅侧切面暴露于腔室内;在50‑140℃下,采用ALD技术在电池侧切面依次生长SiO<subgt...
  • 本发明公开了一种电池片的侧切面的钝化镀膜设备及方法,镀膜方法包括以下步骤:将切割后的电池片进行堆叠后放入多个在侧面设有加工窗口的片盒,放入电池片的片盒放置于待钝化区域,每个片盒放入多个电池片;从待钝化区域将多个片盒放置到托盘上;反应物和...
  • 本发明涉及一种太阳能电池片的制备方法及太阳能电池片。上述方法包括步骤:在硅片上印制栅线,并烧结获得电池片;将电池片分割为两个以上的小电池片;对小电池片进行钝化处理,形成钝化膜;对钝化处理后的小电池片进行激光辅助烧结处理。通过将激光辅助烧...
  • 本技术公开了一种用于侧壁钝化镀膜设备的喷淋板,包括:第一喷淋腔,用于存放第一反应物且在边缘设有第一圈槽;与第一喷淋腔相邻的第二喷淋腔,用于存放第二反应物且在边缘设有第二圈槽;设于第一喷淋腔的底部的第一喷出口和第二喷淋腔的底部的第二喷出口...
  • 本技术公开了一种用于侧壁钝化镀膜设备的灯管加热器,包括:环状的加热器主体,用于进行导电;设于加热器主体的上侧的绝缘环,用于进行绝缘;设于加热器主体的下侧的反射板,用于反射热量;设于加热器主体的下侧呈扇形排布在反射板上的多根灯管,用于放出...
  • 本发明涉及太阳能电池领域,提供一种电池片的镀膜设备和修复方法。镀膜修复设备包括反应腔室、片盒和喷淋装置,反应腔室内设有加热器和托盘;片盒包括底座和盒体,底座适于安装于托盘,盒体设置于底座上方,盒体内适于放置具有至少两个切割面的电池片,盒...
  • 本发明涉及管式镀膜设备,提供一种可拆卸式舟页及石墨舟,舟页包括第一舟页本体和第二舟页本体,第一舟页本体长度方向间隔设有的若干安装孔位,安装孔位贯穿第一舟页本体;第二舟页本体可拆卸设置于安装孔位内,第二舟页本体顶面低于所述第一舟页本体顶面...
  • 本技术公开了一种用于侧壁钝化镀膜设备的顶部灯管加热器,包括:环形的加热器主体,用于进行导电,加热器主体具有上侧、下侧、环状外侧、环状内侧、两个条状外侧;设于加热器主体上侧的电极,用于为顶部灯管加热器供电;设于加热器主体的环状外侧的绝缘环...
  • 本技术涉及薄膜沉积领域,提供一种用于半导体薄膜沉积设备的翻转设备,包括架体、夹持组件以及翻转组件,架体中间设有适于上盖和底板翻转的第一空间;夹持组件适于夹持上盖和底板的两侧边缘,夹持组件对称设置于第一空间的两侧;翻转组件连接夹持组件和架...
  • 本技术涉及薄膜沉积领域,提供一种真空腔内旋转台,用于半导体薄膜沉积设备内的物料旋转,包括载台、中空旋转平台以及磁流体传动轴,载台设置于半导体薄膜沉积设备的真空腔内,载台上适于放置物料;中空旋转平台设置于半导体薄膜沉积设备的真空腔外侧;磁...
  • 本技术属于退火设备领域,公开了一种退火设备的炉门结构及退火设备,退火设备的炉门结构包括底座、箱体横梁和炉门,底座上设有至少两个直线导轨;箱体横梁可移动地设置于至少两个直线导轨,箱体横梁包括多个铝板件和紧固件,多个铝板件通过紧固件拼接形成...
  • 本申请涉及薄膜沉积领域,提供一种防护设备,防护设备包括遮挡组件、移动组件以及密封罩,遮挡组件具有第一部和第二部,第一部适于遮挡进出料通道前端,半导体薄膜沉积设备侧壁上还设有第一开口,第二部适于贯通第一开口;移动组件连接第二部并驱动第一部...
  • 本技术属于薄膜沉积设备领域,公开了一种用于薄膜沉积设备的重载旋转机构及薄膜沉积设备,重载旋转机构包括刚性架和载盘,刚性架包括刚性旋转套和刚性框架,刚性旋转套用于与旋转轴固定连接,刚性框架呈镂空状且中部与刚性旋转套固定连接;载盘固定设置于...
  • 本技术属于薄膜沉积领域,公开了一种薄膜沉积设备的补源系统,包括源罐、补源罐、管路加热装置、管路测温装置、源罐温度传感器、源罐压力传感器、补液阀和控制器;补源罐与源罐管路连接;管路加热装置和管路测温装置分别设置于补源罐与源罐连接的管路上,...
  • 本技术公开了一种太阳能电池的集成制造设备,包括:上料传送装置;激光辅助烧结模组,用于对来自上料传送装置的电池整片的栅线图形进行热熔、固化、烧结;激光划片模组,用于对电池整片进行激光切割,以得到两个电池半片;下料传送装置;承载传输转台,用...
  • 本发明提供了一种大管径石英炉管吊装装置,包括动力组件以及在所述动力组件上方悬设的支撑组件,所述支撑组件上活动设置有多组滚筒组件,所述滚筒组件抵接吊装物,所述支撑组件上方悬设有吊装组件,所述吊装组件上活动连接有牵引组件,所述牵引组件的一端...
  • 本发明公开了一种钙钛矿电池的镀膜设备、连续镀膜方法及钙钛矿电池,镀膜设备包括依次连续设置的进料腔,预热腔,蒸镀腔,过渡腔,沉积腔,出料腔和运输装置,本发明的镀膜设备将两种或多种不同的镀膜设备做成一体,设备成本降低,而且省去了转移工序,进...