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刘书琴专利技术
刘书琴共有3项专利
一种高精度高稳定性的薄膜沉积系统及沉积方法技术方案
本发明涉及光学器件领域,尤其涉及一种高精度高稳定性的薄膜沉积系统及沉积方法。本发明的薄膜沉积系统包括电子束蒸发单元、原子层沉积单元和膜厚监控单元,通过在电子束蒸发制备薄膜设备基础上添加带气体通道的挡板结构将原子层沉积单元与之集成,实现了...
一种光学薄膜沉积在线膜厚监控系统及方法技术方案
本发明涉及光学薄膜制备技术领域,尤其涉及一种光学薄膜沉积在线膜厚监控系统及方法。该系统包括真空室、工件盘、夹具孔、光源、光谱采集仪、信号传输系统、上位机,工件盘置于真空室内,光谱采集仪置于真空室外部;夹具孔设置在工件盘上,工件盘旋转过程...
自动节水浇水器制造技术
本实用新型涉及生活用品,具体是一种用于浇花的自动节水浇水器。解决了当家中无人对植物浇水时易导致植物凋谢、枯萎的问题,该自动节水浇水器包括蓄水罐和与蓄水罐固定连通的硬质导水管。本实用新型结构简单,成本低,使用方便,效果明显,集装饰性、节水...
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