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李佳秀专利技术
李佳秀共有1项专利
一种尺寸微缩下一类新型栅极芯结构制造技术
本发明公开了一种尺寸微缩下一类新型栅极芯结构。本发明中,做将栅极做内部调控,处于半导体的包围中,可以是从单面到多面,并且可以做不同形状,不含金属时可做导电沟道反向掺杂。此类内栅结构可单独做栅极使用,也可与外栅结构组合使用。此类内栅结构充...
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