本实用新型公开了一种盒体的快速干燥置物架，包括置物板，所述置物板上开设有贯穿置物板的通槽，所述置物板上设置有加热线圈，所述加热线圈位于通槽内。本实用新型通过将FOSB或FOUP盒体开口端朝向通槽放置于置物架上，加热线圈通电后进行加热，从...

本实用新型公开了一种多点支撑基板卡匣，包括背部架、侧架和支撑杆，所述支撑杆的一端固定在背部架上，且所述支撑杆水平布置，所述支撑杆采用多件并排成组布置且上下设置多组，所述支撑杆上表面固定连接有多个用于支撑玻璃基板的垫块；所述背部架的两侧设...

本发明公开了一种晶圆传送盒及包装盒的洁净清洗方法，包括如下步骤：步骤1，干燥箱静置干燥；步骤2，静电释放；步骤3，震动处理；步骤4，第一段超声波清洗；步骤5，第二段超声波清洗；步骤6，喷淋冲洗；步骤7，加热喷气干燥；步骤8，抽真空加热干...