廉鹏专利技术

廉鹏共有3项专利

  • 本实用新型提出了一种半导体激光器芯片,包括:自下而上依次为N面散热结构、N面电极、N区外延层、有源区、P区外延层、P面电极和P面散热结构,所述N面电极通过生长衬底的转换方式形成。本实用新型的激光器芯片中的生长衬底能够重复利用,生长衬底的...
  • 一种提高半导体激光器芯片散热效率的方法
    本发明提出了一种提高半导体激光器芯片散热效率的方法,包括如下步骤:a)生长衬底依次外延生长预置转换层、N区外延层、有源区和P区外延层;b)经过光刻、刻蚀、蒸镀TiPtAu和退火在所述P区外延层制作P面电极;c)将所述步骤b)所得浸入腐蚀...
  • 本发明提出了一种半导体激光器芯片及其制造方法,其中一种半导体激光器芯片包括:自下而上依次为N面散热结构、N面电极、N区外延层、有源区、P区外延层、P面电极和P面散热结构,所述N面电极通过生长衬底的转换方式形成。本发明的半导体激光器芯片制...
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