本公开涉及半导体或光伏材料加工技术领域，具体涉及一种反应炉，解决了传统的加工设备中，工艺进气孔较为集中，容易产生相互干扰，导致腔体内的气场分布不均匀的问题。本公开的实施例提供的一种反应炉，其进气气路之间的出气口的间距大于100mm，能够...

本申请提供一种加热装置及镀膜设备，加热装置包括：两组导电组件，分别用于电连接电源正极、电源负极；每组导电组件包括：导电支架；多个导电块，设置并电连接于导电支架；多个热丝，并列间隔分布，且每一热丝的一端可拆卸地电连接于其中一组导电组件中的...

本申请提供一种电池片载板及镀膜设备，电池片载板包括装载板、滑动件和推杆件。装载板设置有用于容置电池片的安装位；滑动件沿第一方向滑动设置于装载板，且位于安装位的至少一侧；推杆件沿第二方向滑动设置于装载板；推杆件位于滑动件远离安装位的一侧，...

本申请提供一种光注入退火设备及其控制方法，光注入退火设备包括：真空腔体；载板，用于放置基片；光辐照组件，用于对基片进行辐照；测温组件，用于采集基片的实际温度；加热组件，用于对基片进行加热；控制系统，用于根据基片的实际温度与预设的目标温度...

本申请提供一种气体流量调节方法及反应装置，反应装置包括腔体、压差检测件及流量调节件，腔体与流量调节件及压差检测件连接，压差检测件用于检测腔体内外的气压差，流量调节件用于根据流量设置值调节腔体的进气流速，气体流量调节方法包括：获取气压差；...

一种背接触太阳能电池的制备方法，包括：S1：提供硅片，对硅片进行前处理，硅片包括相对的正面和背面、以及连接所述正面和所述背面的侧面；S2：对硅片进行扩散工艺，以在所述正面形成化合物层；S3：去除S2中形成在硅片的背面和侧面的硅玻璃层；S...

本申请涉及镀膜技术领域，尤其涉及一种载板组件和镀膜设备，以解决溅射结构溅射出的粒子通过载板之间的防撞间隙溅射到工艺腔室内壁，造成工艺腔室维护周期缩短的问题。载板主体的第一端具有第一伸出结构，第二端具有第二伸出结构，在平行于载板主体的平面...

本申请提供了一种舟片、舟结构以及反应炉，涉及半导体或光伏材料加工领域，解决了片状材料加工时出现卡点印记和绕镀现象的技术问题。舟片包括：基板，基板的上表面包括承载区域，承载区域用于承载片状材料，承载区域内形成有第一凹槽，且第一凹槽的第一端...

本公开涉及太阳能电池制造技术领域，具体涉及一种热丝张紧机构和热丝化学气相沉积设备，解决了由于整根热丝的不同位置的张紧力不同，导致热丝张紧效果不佳，甚至热丝发生断裂的问题。本公开实施例提供的一种热丝张紧机构包括：滚轮张紧组件和弹簧张紧组件...

本申请公开一种镀膜装置及加工设备，该镀膜装置包括：腔体、传送机构、镀膜机构和变换机构。腔体内自前向后依次设有第一镀膜区域、变换区域和第二镀膜区域。传送机构包括均依次经过第一镀膜区域、变换区域和第二镀膜区域的第一传送组件和第二传送组件。镀...

本技术公开了一种喷淋机构及半导体加工设备，该喷淋机构用于朝向半导体加工设备的加热机构喷射工艺气体，喷淋机构具有容纳至少部分加热机构的容纳槽。由于该喷淋机构具有容纳加热机构的容纳槽，在实际工作过程，喷淋机构喷出的工艺气体保持在容纳槽这个相...

本技术公开了一种加工设备，该加工设备包括加热装置、喷淋装置和输送装置，加热装置具有多个独立的加热区域，喷淋装置具有多个独立的喷淋区域，多个喷淋区域与多个加热区域对应设置，输送装置用于输送衬底。喷淋装置用于朝向待加工的衬底喷射工艺气体，加...

本申请提供一种输送控制方法、输送装置及加工系统，输送控制方法包括：响应于第m输送带与第m+1输送带同时输送同一物料，控制第m输送带处于与第m+1输送带相同的工作模式，1≤m＜n；工作模式包括第一模式和第二模式，第二模式的平均输送速度大于...

本技术属于太阳能电池制造技术领域，公开了一种密封结构、进气组件及镀膜设备；其中密封结构设置在腔体内，腔体的第一侧壁开设有气口；密封结构包括固定件、密封件、弹性组件以及波纹管，固定件用于安装气管；密封件固定设置于固定件上，密封件用于密封气...

本技术属于硅片加工技术领域，公开了支撑装置及镀膜设备。该支撑装置包括第一安装件、第二安装件和支撑件，第二安装件设置于第一安装件上方，支撑件转动设置于第二安装件远离第一安装件的一端，用于支撑载板。在载板移动的过程中，支撑件能够对载板提供支...

本技术属于硅片加工技术领域，公开了移动机构、移动装置及镀膜设备。该移动结构包括传动组件和纠偏组件，传动组件用于带动载板移动；纠偏组件设置于传动组件，纠偏组件用于对载板的位置进行纠偏。通过在传动组件上设置纠偏组件，在传动组件带动载板移动时...

本技术属于太阳能电池制造技术领域，公开了一种镀膜设备，镀膜设备用于对待镀工件镀膜处理，待镀工件包括沿其厚度方向相对设置的第一表面和第二表面，镀膜设备包括载板以及依顺序设置的第一镀膜腔组和第二镀膜腔组；第一镀膜腔组内设有第一镀膜源；第二镀...

本申请属于太阳能电池片制造技术领域，涉及一种温度调节装置及光注入退火设备，该温度调节装置包括承载板、光源组件、加热组件以及冷却组件，承载板被配置为承载目标物；光源组件设置于承载板朝向目标物的一侧；加热组件安装于承载板背离目标物的一侧；冷...

本申请属于太阳能电池制造技术领域，涉及一种光注入退火设备，该光注入退火设备包括工艺腔、温控组件、灯源组件以及进气组件，温控组件安装于工艺腔；灯源组件安装于温控组件上方；进气组件至少部分位于工艺腔内，且进气组件位于工艺腔内的部分开设有气孔...

本技术属于太阳能电池制造技术领域，公开了一种镀膜设备，其包括第一腔体、第二腔体、第一开关件、第二开关件和转运机构，转运机构包括转运腔体和转运部件，转运腔体包括入口腔体和出口腔体，入口腔体被配置为接收第一腔体内的载板，出口腔体被配置为输出...