本发明公开一种含倍半萜内酯共聚物成膜树脂及其正性248nm光刻胶。所述成膜树脂由共聚单体在自由基引发剂存在的条件下，在溶剂中进行共聚反应制备而成；所述成膜树脂的分子量为4,000～1,000,000分子量分布为1.4～2.4；所述共聚单...

本发明公开一种含倍半萜的成膜树脂及由它配制成的用于干法曝光的正性193nm光刻胶；其成膜树脂的分子量为4,000～5,000,000，分子量分布为1.4～2.4；成膜树脂由共聚合反应合成；共聚单体主要为下列质量百分含量的化合物：含天然产...

本发明公开一种含倍半萜的成膜树脂及其浸没式曝光193nm正性光刻胶，其成膜树脂的分子量为4,000～5,000,000，分子量分布为1.4～2.4；共聚单体主要为下列质量百分含量的化合物：含天然产物倍半萜的组成单元10%～60%；含酸敏...

本发明公开一种含倍半萜内酯的成膜树脂及其正性浸没式曝光193nm光刻胶；所述成膜树脂由含倍半萜内酯的（甲基）丙烯酸酯单体和相关共聚单体在溶剂中进行自由基共聚反应制备而成，其特征在于：所述成膜树脂的分子量为4,000～5,000,000，...

本发明公开一种含倍半萜的成膜树脂及其深紫外（DUV）波段曝光的负性248nm光刻胶，由共聚单体在自由基引发剂存在的条件下，在溶剂中进行共聚反应制备而成。所述成膜树脂的分子量为2,000～1,000,000；所述共聚单体主要为下列质量百分...

本发明公开一种含倍半萜内酯的成膜树脂及其负性248nm光刻胶，其共聚物成膜树脂由共聚单体在自由基引发剂存在的条件下，在溶剂中进行共聚反应制备而成，成膜树脂的分子量为4,000~1,00,000，共聚单体主要为下列质量百分含量的化合物：取...

本发明公开一种含倍半萜内酯成膜树脂及其正性干法曝光193nm光刻胶，其成膜树脂由至少包括一种含倍半萜内酯的共聚单体在自由基引发剂存在的条件下，在溶剂中进行共聚反应制备而成；其特征在于：所述成膜树脂的分子量为4,000～1,000,000...

含倍半萜的成膜树脂及其正性248nm光刻胶，其特征在于：成膜树脂由共聚单体在自由基引发剂存在的条件下，于溶剂中进行共聚合反应制备而成的共聚物，共聚单体主要由5~40份的取代苯乙烯和10~60份的含倍半萜的组成单元；正性248nm光刻胶主...

一种化学增幅型含硅Ｉ－线紫外负性光刻胶，主要由１０～３０份的成膜树脂、０．５～６份的光致酸；０．５～１０份的交联剂；７０～９０份的溶剂经混合后制成所述成膜树脂主要由０．５％～４０％的含硅丙烯酸酯类偶联剂和４０％～９０％的取代苯乙烯经共聚...

一种含纳米硅聚酰胺紫外正性光刻胶及其成膜树脂，该成膜树脂由芳香酰氯、芳香胺和含纳米硅组成单元聚合而成，采用该成膜树脂制得含纳米硅聚酰胺紫外正性光刻胶，其中成膜树脂的重量份数为８～３０份，溶剂的重量份数为７０～９０份。本发明制得的光刻胶具...

一种含硅Ｉ－线紫外正性光刻胶及其成膜树脂，主要由１０～３０份的酚醛树脂、１～１０份的含硅共聚物成膜树脂、５～２０份的重氮萘醌类光敏化合物、３０～８５份溶剂以及少量其他添加剂如正丁胺和表面活性剂作为原料配制，然后经过５微米，１微米和０．２...

一种紫外厚膜光刻胶，主要由１０～３５份的酚醛树脂、１～１０份的含硅共聚物成膜树脂、５～２０份的重氮萘醌类光敏化合物、３０～８５份溶剂以及少量其他添加剂如正丁胺和表面活性剂作为原料配制，然后经过５微米，１微米和０．２微米的过滤器过滤而得。...

一种紫外厚膜光刻胶，主要由１０～３５份的酚醛树脂、１～１０份的含纳米硅共聚物成膜树脂、５～２０份的重氮萘醌类光敏化合物、３０～８５份溶剂以及少量其他添加剂如正丁胺和表面活性剂作为原料配制，然后经过５微米，１微米和０．２微米的过滤器过滤而...

一种含硅共聚物成膜树脂，由共聚单体在自由基引发剂存在的条件下，溶剂中进行共聚合反应制备而成，其特征在于：所述成膜树脂的分子量为４０００～１０００００，分子量分布为１．４～２．８；所述共聚单体主要为４０％～９０％的取代苯乙烯、０．５％～２...

一种含纳米硅深紫外负性增幅型光刻胶，主要由１０～３０份的成膜树脂、０．５～６份的光致酸、０．５～１０的交联剂、７０～９０的溶剂以及０．０１～０．５的有机碱混合组成。本发明在一般以聚对羟基苯乙烯（ＰＨＳ）为基础的成膜树脂配方中引入了可以与...

一种含纳米硅深紫外负性增幅型光刻胶，主要由１０～３０份的成膜树脂、０．５～５份的光致酸、７０～９０份的溶剂以及０．０１～０．５份的有机碱混合组成。本发明在一般以聚对羟基苯乙烯为基础的成膜树脂中引入了Ｓｉ８－ＰＯＳＳ，它是一个具有纳米尺寸...

一种含硅１９３ｎｍ负性光刻胶及其成膜树脂，在成膜树脂配方中引入了可以共聚合的含有机硅的丙烯酸酯类偶联剂单体，同含可交联的碱性可溶基团单体进行共聚合制备成一种新的成膜树脂。这种新的成膜树脂与光致酸、交联剂、溶剂、以及其他添加剂组成光刻胶后...