本发明涉及一种钽钌合金靶材的制备方法，包括依次进行的步骤如下：将氢化钽粉和钌粉混合成混合粉末，将混合粉末装入包套容器中，然后将包套容器封焊，并在包套容器上焊接一个出气管；将包套容器加热进行脱氢；通过出气管对包套容器抽真空，然后将出气管焊...

本发明涉及一种钽钌合金靶材的制备方法，包括依次进行的如下步骤：将钽粉和钌粉混合均匀后进行冷等静压压成块状，然后真空烧结；真空烧结之后再进行真空电子束熔炼获得高纯钽钌合金锭；将高纯钽钌合金锭进行径向热锻和退火处理；接着进行纵向墩粗和退火处...

本发明涉及一种带有铜合金背板的镍铂合金靶材的制备方法，在铜合金背板的待焊面加工一个凹槽；对铜合金背板和镍铂合金靶材进行机加工、化学清洗、镀铬；将镀铬后的铜合金背板放在带有加压装置的加热工作台上，待焊面朝上，然后在铜合金背板的待焊面上放置...

本发明涉及一种带有铜合金背板的镍铂合金靶材的制备方法，包括依次进行的步骤如下：对铂含量在5~20at.%之间的镍铂合金靶材坯料和铜合金板坯的表面进行机械加工，然后进行化学清洗；将铜合金板坯和镍铂合金靶材坯料依次装入包套容器中，然后将包套...

本发明涉及镍铂合金靶材的制备方法，包括依次进行的如下步骤：采用镍和铂作为原料，原料在坩埚中进行高温熔炼成镍铂合金锭；采用真空电子束将镍铂合金锭熔炼成高纯镍铂合金锭；对高纯镍铂合金锭进行径向热锻和退火处理；对高纯镍铂合金锭进行纵向墩粗和退...

本发明涉及一种适于对具有复杂内腔结构的工件进行涂层的方法，包括依次进行的如下步骤：对工件的内外表面进行净化处理，然后将净化后的工件和捐献材料放入反应罐中，捐献材料为AlCr颗粒或Si粉和AlCr颗粒的混合物；将反应罐抽真空，然后充入氩气...

本发明涉及一种氧化锆和氧化钇混合物陶瓷靶材的制备方法，包括依次进行的步骤如下：将ZrO2颗粒与Y2O3颗粒混合物采用ZrO2研磨球进行球磨混合，球磨混合后的混合粉料的粒径为10nm~100nm；对混合粉料进行冷等静压成型，获得混合物陶瓷...

本发明涉及一种高纯钴靶材坯料与背板的焊接方法，包括依次进行的如下步骤：将高纯钴靶材坯料和背板的表面分别进行机械加工；将机械加工后的高纯钴靶材坯料和背板用有机清洗溶剂清洗；将清洗后的高纯钴靶材坯料和背板采用热压炉在压力为50～160MPa...

本发明涉及一种钛铝合金靶材的生产方法，其包括（1）将钛粉和铝粉在入V型混料机中混料；（2）将粉体置于冷等静压包套中，抽真空后密封，压制10~20分钟，然后置于真空自蔓延高温合成炉中，进行自蔓延反应，获得泡沫状钛铝合金；（3）将合金粉碎成...

本发明涉及一种铝钕合金靶材的生产方法，其包括（1）将铝锭和金属钕块切割成细条，表面超声波清洗，烘干，称量装炉，将炉体抽真空，氧化铝坩埚升温至800~1000℃，真空中频感应熔炼，停电、铜质水冷模浇铸铸锭，随炉冷，破真空取锭；（2）高温消...

本发明涉及一种铬铝合金靶材的生产方法，其包括（1）将铬粉和铝粉在入V型混料机中混料；（2）将粉体置于冷等静压包套中，抽真空后密封，压制10~20分钟，然后置于真空自蔓延高温合成炉中，进行自蔓延反应，获得泡沫状铬铝合金；（3）将合金粉碎成...

本发明涉及一种高纯钽靶材的生产方法，其包括（1）将大小为5~10mm*5~10mm的钽块置于氢化炉中进行吸氢；（2）将吸氢完毕的钽破碎成-200目的粉末，置于钢包套中，按一定速率和阶段进行升温和抽气，之后将钢包套置于热等静压机中进行烧结...