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昆山鼎晶镓业晶体材料有限公司专利技术
昆山鼎晶镓业晶体材料有限公司共有1项专利
一种改进型梯度凝固GaAs单晶生长方法技术
本发明专利提供了一种改进型梯度凝固GaAs单晶生长方法,它对传统垂直梯度凝固法(VGF)或垂直布里奇曼法(VB)晶体生长装置进行了改造。其特征在于加热系统被安装在晶体生长炉顶部,加热元件为一组串联的U型硅钼棒。炉体内温度分布曲线通过隔热...
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