本发明属于精密超精密加工领域，尤其涉及一种超精密珩磨装置，包括相互连接的机床本体、珩磨装置、ELID电解整形与修锐装置以及在位检测装置和控制装置，对所述ELID电解修整装置和所述超声珩磨装置进行复合珩磨的同时实现珩磨油石的电解修锐，所述...