本发明涉及利用反射计的原理测量单层或多层薄膜的厚度轮廓和折射率分布的非接触的，非破坏型的测量装置。根据本发明，通过采用多于一个的窄带通滤光器和一个二维矩阵的ＣＣＤ传感器，并且通过利用迭代数字计算方法得到所述单层或多层薄膜的厚度和对应的折...

本发明涉及利用反射计的原理测量单层或多层薄膜的厚度轮廓和折射率分布的非接触的、非破坏型的测量装置。根据本发明，通过采用多于一个的窄带通滤光器和一个二维矩阵的ＣＣＤ传感器，并且通过利用迭代数字计算方法得到所述单层或多层薄膜的厚度和对应的折...