本文公开一种对真空工作台特别有用的磁控阀。提供的磁控阀包括小室，该小室分隔为第一子小室和第二子小室，其中的分隔由分隔的矮壁实现。所述矮壁能在第一和第二子小室之间，使小室高的部分形成通路，并在第一和第二子小室之间使小室低的部分不能形成通路...