本发明涉及一种带检测器装置的粒子束仪(1，24)。该粒子束仪具有第一和第二粒子束柱(16、2)，第一和第二粒子束柱分别具有产生第一或第二粒子束的第一或第二束产生器以及将第一或第二粒子束聚焦在目标(11)上的第一或第二物镜。第一粒子束柱具...

一种处理系统包括：围绕在聚焦透镜和相互作用区域之间的束通道环形延伸的环形管道，特别是以圆环形的形式延伸；其中环形管道在面向相互作用区域的侧部上包括朝向相互作用区域的多个用于气体的出口；并且其中环形管道包括保持器装置，其配置成绕着枢轴枢转...

本发明涉及粒子束装置，其包括粒子束发生器、用于将由粒子束发生器产生的粒子束聚焦在目标平面上的物镜。物镜确定光轴。粒子束装置还包括用于偏转目标平面上的粒子束的第一和第二偏转系统，第一和第二偏转系统连续依次沿光轴设置。在第一运行模式中，第一...

本发明涉及一种用于处理和/或分析样品(8)的粒子束装置(1)和方法。该粒子束装置(1)和该方法的特征在于：样品载具(24)布置在第一位置，其中样品表面(32)平行于第一粒子束柱(2)的第一束轴(21)。样品载具(24)可以从第一位置旋转...

本发明涉及一种操作粒子束显微镜的方法，其中所述方法包括：探测从结构发出的光线和/或从结构发出的粒子的至少之一，其中所述结构包括至少下述之一：物体的表面的至少一部分和粒子束显微镜的载物台的表面的至少一部分；根据探测到的光线和粒子的至少之一...

总体而言，在一个方面，本公开涉及用于样品成像的方法和系统，例如使用带电粒子的样品成像。

本发明公开了一种加工物体的方法。该方法包括在物体的表面上扫描粒子束并且探测由于扫描而从物体逸出的电子；基于探测的电子，对物体的表面上的多个位置中的每一个，确定物体的表面与预定表面的高度差；基于确定的高度差，对物体的表面上的多个位置中的每...

本发明涉及一种处理系统，包括：共同基座(53)；载物件(101)，被配置为承载用于检查或处理的物体；提供在所述载物件上的至少一个孔径板，具有至少一个孔径；安装在所述共同基座上的激光装置(15)，被配置为在扫描区域(13)上扫描激光束(1...

本发明提供一种检测方法、粒子束系统和制造方法。该检测方法包括：将粒子束聚焦到样品上；操作位于样品附近的至少一个探测器；将由至少一个探测器产生的探测信号分配到不同的强度区间；基于分配到强度区间的探测信号，确定与入射到探测器的电子相关的至少...

本发明涉及一种粒子束装置（１），其具有光阑孔可调的第一光阑组件（８）。本发明还涉及一种用于粒子束装置（１）的光阑组件（８）。此外，本发明还涉及一种用于在粒子束装置（１）中调整束流的方法。粒子束装置（１）包括具有第一极靴（６ａ）和第二极靴...

本发明提供一种粒子束显微系统及其操作方法。用于清洁自身的该粒子束显微系统１包括：辐射系统，以导引电磁辐射到需要清洁的表面；以及供给系统６１，以供给前驱气体到粒子束系统１的真空室１１的内部。在将被清洁的表面的附近，前驱气体被激活并转变为与...