本技术涉及陶瓷喷嘴烧结成型技术领域，具体为一种CVD用陶瓷喷嘴烧结成型装置，包括烧结箱，烧结箱的外端设有主支架，烧结箱上设有螺槽和烧结腔，主支架上设有侧板，烧结箱的上方设有震料滤箱，主支架上设有气缸和导向板。实现对输入烧结腔中的硅粉进行...

本技术公开了一种氮化铝陶瓷喷嘴注射成型装置，包括注射机主体，注射机主体的上端设置有吊架，吊架的上端面设置有伸缩气缸，伸缩气缸的下端设置有注射头，注射头的设置有注射管，注射机主体的上端面设置有下模，下模的上端滑面动连接有上模，上模的中心设...

本技术公开了一种CVD用氮化铝陶瓷喷嘴压制成型设备，包括压制机主体，压制机主体的上端面设置有上压模和下压模，压制机主体内设置有料筒和料泵，料泵的两端分别与上压模的顶部和料筒的底部贯通连接，料筒的上端面设置有桶盖，压制机主体的上端面设置有...

本发明提供一种半导体设备铝基部件表面涂层的精密再生方法，该方法包括以下步骤：步骤S1、去除产品表面膜层；步骤S2、制备阳极氧化膜层；步骤S3、制备钇化合物涂层步骤；S4、无尘清洗。本发明的精密再生方法能够有效去除产品表面膜层，同时进行再...

本实用新型提供了陶瓷生产技术领域一种氮化铝陶瓷浆体二级除铁装置，包括搅拌桶、管道以及干燥塔，搅拌桶内设置多根强磁棒，不锈钢管上设置多个强磁铁块，搅拌桶通过管道连接干燥塔。本实用新型通过在搅拌桶内设置多根强磁棒对陶瓷浆料进行一级除铁处理，...

本实用新型提供了一种涉及气体分配盘技术领域的半导体设备零部件气体分配盘的熔射保护工装，包括凸起、内圈和定位圈，凸起连接于定位圈上，定位圈连接内圈，内圈和定位圈罩于气体分配盘上。本实用新型对于被保护的部件表面不会留下残胶、污垢，熔射层边缘...

本实用新型提供了一种热喷涂可调节遮蔽装置，包括底座、分别配置在所述底座两侧的两个支架以及位于所述底座上方并配置在两个所述支架上的挡板，所述挡板用于遮挡被喷涂工件；所述底座上设置有调节平面，两个所述支架能够在所述调节平面上沿第一方向调节自...

本实用新型提供了一种半导体CVD设备用锅形陶瓷件加工治具，包括：底座、圆腔、把手以及固定螺丝；所述圆腔的一个端面与底座固定连接，所述固定螺丝设置在圆腔的圆周侧面上，且固定螺丝靠近圆腔的另一个端面处设置，所述把手设置在圆腔的圆周侧面上。本...

本实用新型提供了一种加热器部件的喷砂装置，包括：遮蔽保护盖板和支撑旋转装置；所述支撑旋转装置安装并支撑加热器部件；所述加热器部件背向所述支撑旋转装置一侧卡接所述遮蔽保护盖板；所述支撑旋转装置包括：支撑体和底板；所述支撑体一端转动连接所述...

本实用新型提供了一种异形陶瓷烧结的码窑结构，包括垫片体，所述垫片体的上部和/或下部设置有一个或多个沿径向方向间隔布置的槽口，所述槽口贯穿所述垫片体的内侧面和外侧面；相邻的两个槽口之间形成凸台，位于所述垫片体上部的所述凸台的上面为平面、斜...

本发明涉及一种利用双氧水热碱漂白陶瓷的漂白方法。所述漂白方法通过将待漂白陶瓷浸没在双氧水溶液中；再将碱溶液加热，加入到双氧水溶液中。双氧水遇到热碱后会迅速析出大量的过氧根，形成过氧化钠，过氧化钠极不稳定，与水反应产生大量的氧气产生大量气...

本发明提供了一种防止陶瓷件断裂的加热方法、装置及批量加热方法，防止陶瓷件断裂的加热方法包括如下步骤：室内恒温步骤：将室温控制在0～10℃；预热步骤：将被加工陶瓷件置于40～60℃的水浴中预加热3～5min；加热步骤：将完成预加热的所述被...

本发明提供了一种半导体CVD设备用锅形陶瓷件加工方法及系统，包括以下步骤：步骤S1：将粉料加工成坯料进行一次成型烧结；步骤S2：将烧结好的坯料放进治具中，并通过治具上的螺丝锁紧固定坯料；步骤S3：将坯料连同治具放在平面磨床上，采用砂轮精...

本实用新型提供了一种密封性测试装置,包括自下向上依次设置的底座、第一橡胶圈、第一陶瓷密封件、第二陶瓷密封件、第二橡胶圈以及压力腔体；所述压力腔体和底座通过多个螺栓连接，且所述底座和压力腔体配合将第一橡胶圈、第一陶瓷密封件、第二陶瓷密封件...

本实用新型提供了一种旋转盘定位工装，包括主体盘，所述主体盘上安装有夹持结构，所述夹持结构内具有滑槽，所述滑槽的内部安装有三个滑动块，三个所述滑动块围成容纳空间，容纳空间用于定位被测件体，每个所述滑动块距离主体盘的中心点之间的距离能够被设...

本实用新型提供了一种涉及半导体零件技术领域的半导体PVD设备零部件的熔射保护治具，包括内圈保护治具和外圈保护治具，内圈保护治具连接于沉积环内壁上，内圈保护治具的凹槽与沉积环上的凸块适配连接，外圈保护治具连接于沉积环外壁上。本实用新型通过...

本发明提供了一种大型陶瓷圆弧加工方法，包括如下步骤：S1、将胚材使用平面磨床磨好平面，使胚材总高到尺寸，并预留开粗余量，再将磨好后的胚材通过夹具装夹到数控车床上；S2、采用砂轮走圆弧轨迹的方法对胚材内圆直径大于等于150mm的圆弧面开粗...

本发明公开了一种氧化铝陶瓷材料用工业粘结剂；由松香、工业石蜡和环氧树脂组成；所述松香、工业石蜡和环氧树脂的质量比为2.5

本发明提供了一种半导体Cu制程设备零部件表面双层附着物的清洗方法，将待清洗部件放置于清洗容器中：加入比例为20％～30％的强碱，再加入比例为70％～80％的90～100℃的热水，溶液覆盖部件即可，热水与强碱形成高温碱液并与零部件表面第一...

本发明提供了一种旋转盘定位工装，包括主体盘，所述主体盘上安装有夹持结构，所述夹持结构内具有滑槽，所述滑槽的内部安装有三个滑动块，三个所述滑动块围成容纳空间，容纳空间用于定位被测件体，每个所述滑动块距离主体盘的中心点之间的距离能够被设定，...