一种扫描方法，用于将图案写在平面上，包括：提供一扫描光束，包括多个独立可编址的子光束；以该扫描光束扫描平面若干次，该子光束于交叉扫描方向并排扫描平面，每一该子光束经调谐以反射待写入之数据；及重叠光束，使得在至少二次扫描期间，平面的写入区...

一种扫描方法，用于将图案写在表面上，包括：提供一扫描光束，包括多个独立可编址的子光束；以该扫描光束扫描表面若干次，该子光束于交叉扫描方向并排扫描表面，每一该子光束经调谐以反射待写入之数据；及重叠光束，使得在至少二次扫描期间，表面的写入区...

本发明提供一种用于保持不同尺寸的平板的装置，包括：一底部，具有一平坦表面，且包含多个形成于其表面上的相互连接的通道：连接至所述通道的至少一端口；连接到所述至少一端口的真空源；中间板，覆盖所有所述通道，且具有通过其所形成的多个孔，它们仅存...