本技术提出一种晶圆调平装置，其采用固定立柱及固定拉簧组成固定支托组件，固定立柱顶部通过钢珠与配接翼片抵合，底部通过钢珠与支承底座抵合，使定位底托可在支承底座上通过偏转的方式进行位置微调，并采用活动撬板、活动立柱及活动拉簧组成活动支托组件...

本技术提出一种用于晶圆分选设备的磁吸机械臂，其包括支承装配组件、转接支托组件、升降驱动组件、旋转驱动组件、关节悬臂组件及晶圆取放组件，该磁吸机械臂的吸片臂节通过吸合磁块安装在取放臂节末端，可随固定臂节及活动臂节一同运动，完成正常的取片与...

本实用新型提出一种用于晶圆加工设备的激光遮挡机构，其包括支承装配组件、升降驱动组件、升降传动组件、转接定位组件及遮罩挡光组件，该遮光机构采用传动连杆组成升降传动组件，其中部通过转动结构安装于支承立架上，并在传动连杆两端分别形成驱动臂段及...

本实用新型提出一种用于晶圆加工设备的激光遮挡机构，其包括支承装配组件、升降驱动组件、升降传动组件、转接定位组件及遮罩挡光组件，该遮光机构采用传动连杆组成升降传动组件，其中部通过转动结构安装于支承立架上，并在传动连杆两端分别形成驱动臂段及...

本实用新型提出一种用于晶圆检测设备的升降调平机构，其包括承载转接构件、升降导向构件、吸附定位构件、升降驱动构件及位置反馈构件，该升降调平机构的承载座板采用三角形结构，驱动电机与导向滑轨分别位于腰线部位及底边部位，使得升降导向构件运行更为...

本实用新型提出一种用于晶圆检测设备的定心机构，其包括固定支承组件、活动支承组件、导向配接组件、晶圆定位组件、弹性压合组件及气动牵引组件，该定心机构采用安装有一对定位滚轮的定位顶板作为晶圆定位结构，并在支承座块中设置弹性簧柱，由弹性簧柱拉...

本实用新型提出一种具有圆周定位结构的晶圆检测装置，包括支承装配组件、晶圆置放组件及晶圆感测组件，晶圆置放组件通过运动机构安装于支承装配组件上，运动机构包括横向平移组件及周向旋转组件，晶圆置放组件安装于周向旋转组件上，可携带晶圆片随周向旋...

本实用新型提出一种晶圆检测平台调平装置，包括转接座块，转接座块中安装有配接滚轮，配接滚轮下方设有配接楔块，该配接楔块顶部开设有升降斜面，配接滚轮的外壁与升降斜面抵合，配接楔块安装于平移机构上，该平移机构可带动配接楔块平移。该调平装置在位...

本实用新型提出一种晶圆双片检测平台，包括支撑定位框架、横向运动平台、纵向运动平台、晶圆置放座架及晶圆检测探头，晶圆置放座架包括置放基板，置放基板固定安装于纵向运动平台上，其内部开设有一对容纳通口，并在容纳通口内壁设置带有定位立柱的定位托...

本实用新型提出一种圆晶盒密封门解锁装置，包括解锁门板、解锁钥匙及解锁吸盘，解锁钥匙通过转动结构安装于解锁门板中，并与密封门的锁具配合，解锁吸盘安装于解锁门板上，并与密封门配合；还包括移动座板及解锁摆臂，移动座板通过移动导向结构安装于解锁...

本实用新型提出一种十二寸晶圆盒解锁装置，包括承载组件及解锁组件，解锁组件与承载组件位置对应，并与晶圆盒适配，承载组件包括承载座板，该承载座板沿横向布置，承载座板中安装有定位销，定位销顶部向承载座板上方伸出，并与晶圆盒适配，承载座板通过滑...

本实用新型提出一种用于晶圆陶瓷载盘移送设备的吸附机构，包括支承容纳构件、转接定位构件、遮罩防护构件、真空吸附构件及气流贯通构件，该吸附机构采用内设容纳通孔的支承横杆对贯通气管进行定位，同时在转接座架中开设与容纳通孔连通的定位腔体，使得贯...

本实用新型提出一种用于晶圆盒解锁的自动定位机构，包括导向支承构件、转接承载构件、动力驱转构件、配接定位构件及定位切换构件，该自动定位机构将承载座板通过转接滑块安装于支承座架的导向轨杆上，并在承载座板下方设置驱动电机，驱动电机通过传动丝杆...

本发明提出一种晶圆检测分选系统及方法，该系统包括支承装配装置、晶圆供应装置、晶圆检测装置、晶圆取放装置、晶圆分储装置及晶圆分选装置，该晶圆检测分选系统在供应载台上设置多个沿取放通口边缘呈扇形排布得供应架体，使待检测晶圆的供应数量大为提升...

本实用新型提出一种晶圆平整度检测分选装置，包括支承装配组件、晶圆供应组件、晶圆检测组件、晶圆取放组件、晶圆分储组件及晶圆分选组件，该晶圆平整度检测分选装置在供应载台上设置多个沿取放通口边缘呈扇形排布得供应架体，使待检测晶圆的供应数量大为...

本实用新型提出一种双旋臂晶圆取放装置，包括吸附定位构件、上层支撑构件、下层支撑构件、转接升降构件及支承装配构件，该双旋臂晶圆取放装置在装配支架上设置可上下移动的升降座板及升降筒壳，由升降电机带动其上升或下降，并携带升降筒壳上的下层旋臂及...

本实用新型提出一种晶圆自动定心装置，包括支承装配组件、轴向支撑组件、静止定心组件、活动定心组件及切换驱动组件，该晶圆自动定心装置采用静止压轮及活动压轮对晶圆进行物理定心处理，不必通过测量传感器计算圆心位置，并且可在常规支承载台上进行改装...

本实用新型提出一种晶圆盒承载定位装置，包括支撑装配组件、转接定位组件、盒体承载组件及盒体感应组件，该晶圆盒承载定位装置在支撑装配组件上设置了一对盒体承载组件，增加了晶圆盒的容纳量，可减少停机换片的次数，提高设备连续运转的时间，从而提高设...

本实用新型提出一种陶瓷盘取放移送装置，包括支承装配组件、下层伸缩组件、下层驱动组件、上层伸缩组件、上层驱动组件、偏转承载组件、偏转驱动组件及吸附定位组件，该陶瓷盘取放移送装置设置了下层伸缩组件与上层伸缩组件，可进行两级伸缩操作，并且在上...

本实用新型提出一种半导体晶圆检测设备，包括支承装配组件、晶圆存储组件、横向承载组件、晶圆移送组件、对中调节组件及距离检测组件，该检测设备设置了一组存储盒体，并与横向载板位置对应，使得横向载板上的移送抓手可在各存储盒体中分别取放晶圆片，在...