一种机器人支撑部件连接的夹具。臂部具有在一个预定的方向上相互相对的第一和第二侧的支承构件，其特征是，包括：第一可动构件支承臂实施往复运动，在所述预定方向上该臂的第一和第二侧面连接到在所述预定的方向上的第一可动构件，所述第一和第二可动构件...

一种多功能模块机器人。机器人模块包括：一个细长的壳体，它具有相对的第一和第二侧并包括一底座和第一端部，在所述壳体的第一和第二侧面之间具有驱动器，连接第二端部的第二驱动，并围绕第二侧的壳体的旋转轮毂旋转，所述第二侧的旋转轮毂安装在壳体的第...

一种高通量的晶圆位置校正系统。转移晶片从第一位置发送到第二位置，其特征在于，包括：延伸的一个双端部执行器臂具有第一和第二侧支持每个晶片的末端执行器，双末端执行器臂沿通径传输到中间站，将其中的晶片相对于末端效应器的位置配置为回缩结构具有转...