本发明提供了一种晶圆加工检测方法及系统，涉及加工检测技术领域，包括：获取第一晶圆和第二晶圆的三维集成设计信息，进行重合度检测，获取第一晶圆的边缘重合度以及第二晶圆的边缘重合度，若均大于预设边缘重合度，获取第二检测指令，生成三维模拟数据集...

本公开提供了一种晶圆表面清洗监测方法及系统，涉及晶圆清洗监测技术领域，该方法包括：确定清洗控制参数；同步生成监测参数序列；获取清洗监测数据；基于清洗监测数据，通过轨迹偏离运算模块进行轨迹偏离分析预测，获得清洗偏离信息；基于所述清洗偏离信...

本发明公开了一种均匀喷覆的镀膜装置，涉及技半导体镀膜术领域，包括工作台，工作台顶部设置有镀膜机，镀膜机底部设置有多个喷头，工作台顶部设置有控制组件，螺旋板开口一端设置有承载组件，本发明通过螺旋板和多个喷头的设置，螺旋板表面开设有贯穿自身...

本发明涉及半导体检测技术领域，且公开了一种可残次品标记的多工位检测装置，包括操作台，所述操作台的顶部后端固定连接有排料输送机构，所述排料输送机构能够对物料处于同一检测状态进行输送，所述排料输送机构的一端和操作台的顶部前端固定连接有紧固检...

本发明公开了一种便于调节亮度的焊点检测机，涉及半导体领域，包括工作台，所述工作台的顶部设置有驱动组件，所述驱动组件的输出端连接有转盘，所述转盘上设置有安装框架，且安装框架内设置有电控吸盘，所述工作台的顶部有检测机构，且位于工作台的另一侧...

本发明公开了一种

一种将

本公开提供了一种用于半导体生产的切割控制方法及系统，涉及半导体加工技术，方法包括：采集半导体基材的材料信息

本发明提供了用于晶圆切割的边缘平滑度检测方法及系统，涉及半导体技术领域，包括：采集晶圆图像并进行二值化处理，获得二值化图像，对二值化图像内的多个特征点进行匹配拟合获得拟合边缘，进行切割边缘平滑度识别，获得第一平滑度参数，采集表面形貌参数...

本发明涉及一种晶圆拿取装置。本发明涉及一种夹持式晶圆打磨用的拿取装置。其包括固定装置和设置于固定装置底部的夹持装置，固定装置包括固定机构，固定机构包括固定筒，固定筒的底部固定连接有固定架，夹持装置包括夹持机构。本发明在拿取晶圆时，液压杆...

本发明提供了结合数字孪生的半导体加工质量预测方法及系统，涉及数据处理技术领域，方法包括：建立半导体原材特征集、初始数字孪生模型、设备时序特征，通过设备时序特征对初始数字孪生模型执行模型个性化配置，分析半导体原材特征集建立原材分布空间，并...

一种将5G传输与无人机相结合的盘点库存系统及方法，属于盘点库存技术领域，为了解决循环盘点以及实物盘点不仅影响库存盘点的进程，且限制了库存盘点的次数，根据仓库运营变化以及存货更新等情况，需对部分货件进行贴标记录，低处位置可通过人工进行贴标...

本发明涉及扶梯技术领域，且公开了一种工业生产用自动扶梯，包括自动扶梯，所述自动扶梯顶部正反两端均电梯架，两个所述电梯架正上方均设置有扶手架，本发明通过设置连接件一和连接件二，使连接件一包括的支撑架一与连接件二包括的支撑架二在接触的情况下...

本发明公开了一种水利工程闸门控制系统，涉及水利工程技术领域，包括人工渠一、人工渠二、人工渠三和人工渠四，其特征在于：所述人工渠一、人工渠二、人工渠三和人工渠四之间相互贯通连接，还包括双向抽吸泵，所述双向抽吸泵与人工渠一、人工渠二、人工渠...

本发明公开了一种PCB板收放机，涉及PCB板收放技术领域；为了解决收放工作的自由度问题；具体包括两个第一支架和两个第二支架，两个第一支架的同侧两端分别通过螺栓与两个第二支架的同侧两端相连接，其特征在于，两个所述第一支架的中部一侧分别设置...

本发明公开了一种PCB外观自动检测装置，本发明涉及PCB板检测技术领域。该PCB外观自动检测装置，包括检测台、传送组件，所述传送组件设在检测台上，所述检测台的顶部且位于两个传送组件之间固定连接有AOI光源，所述检测台的顶部固定连接有支撑...

本发明公开了一种拖拽式AGV智能无人搬运车挂载装置，包括转轮，所述转轮的顶部固定连接有撑板，所述撑板的顶部固定连接有平衡装置，所述平衡装置的我顶部固定连接有支撑载座，所述支撑载座的顶部固定连接有挂载臂，所述挂载臂的底部固定连接有承力接杆...

本发明公开了一种具有自动抓取功能的AGV无人搬运车，本发明涉及无人搬运车技术领域。该具有自动抓取功能的AGV无人搬运车，包括搬运车本体、顶起机构、车轮和机械臂，所述搬运车本体的内部设置有顶起机构，所述顶起机构可将被搬运物体顶起，所述搬运...

本发明公开了一种基于激光导航自平衡无人搬运叉车，本发明涉及叉车技术领域，其结构包括车体，车体的一侧固定连接有升降机构，升降机构的一侧顶部固定连接有动力组件，升降机构的另一侧底部固定连接有叉运机构，叉运机构包括安装板。该基于激光导航自平衡...

本发明公开了一种螺旋扫描式激光曝光设备及其运转方法，包括曝光设备、成像平台、旋转平台和底座，曝光设备设置在成像平台正上方，旋转平台安装在成像平台下方，底部安装在旋转平台下方，底座内安装有电机，电机与旋转平台之间通过旋转轴连接，曝光设备内...