江苏高光半导体材料有限公司专利技术

江苏高光半导体材料有限公司共有47项专利

  • 本发明提出的一种金属掩膜版箔材及其制作方法、制作装置,其中的金属掩膜版箔材包括至少两条子箔材,各子箔材沿宽度方向并列设置,相邻两条子箔材之间相接的长边焊接为一体;金属掩膜版箔材的目标宽度T与各子箔材初始宽度的均值t之间满足:T/n≤t<...
  • 本发明提供一种精密金属掩膜版的制作方法及精密金属掩膜版、掩膜装置。其中的制作方法包括:选取原料片材;在原料片材上加工出至少一个用于蒸镀的图案区域,图案区域内具有若干上下贯通的开口;所述图案区域的加工方式包括如下步骤:使用蚀刻药液A,在原...
  • 本发明提供一种因瓦合金表面低温沉积氧化铝膜层的方法,所述方法在基片组进入工艺室进行磁控溅射,对所述基片组温度进行监测,待基片组温度达到预设温度时,进行下一步骤,所述预设温度不高于80℃。所述方法可以降低因瓦合金与氧化铝膜层间的内应力,提...
  • 本技术提出的一种掩膜框架及掩膜装置,涉及金属掩膜版技术领域。该掩膜框架包括若干金属条和销块,金属条的两端均具有凹槽;金属条依次首尾相抵接围成矩形框架,任意两个相抵接金属条的相抵接端具有的凹槽相结合形成销槽;销块具有与销槽相适配的形状和尺...
  • 本公开提供了一种金属掩膜版及其制作方法,其中的掩膜版包括框架;多个金属条,包括与框架连接的多个第一方向金属条和/或多个第二方向金属条,金属条横跨框架的镂空部分;多个拼接式金属片,与第一方向金属条和/或第二方向金属条连接,两端与框架连接并...
  • 本公开提供一种金属掩模版的材料属性等效方法、仿真方法及制作方法。其中的材料属性等效方法,包括基于金属掩模版具有孔的区域,建立金属掩模版的单元模型;设置单元模型的基础材料属性;获取单元模型在预设荷载作用下的第一形变量;建立与单元模型尺寸相...
  • 本发明提供一种支撑掩膜版及掩膜装置,涉及半导体显示技术领域。其中的支撑掩膜版包括金属基体,金属基体配置有多个第一支撑条和多个第二支撑条,第一支撑条与第二支撑条垂直相交形成网面,网面内具有至少一个开口;第一支撑条和/或第二支撑条上配置有遮...
  • 本发明涉及光电显示技术领域,公开了一种掩模版组件及其制作方法,掩模版组件包括框架、对位掩模以及金属掩模版,对位掩模上具有对位孔,对位孔满足预设精度,四个对位掩模分别固定布设在框架的四角处,金属掩模版上具有适配容纳对位掩模的四个通孔,金属...
  • 本公开提供一种曝光方法
  • 本发明提出的一种掩膜框架制作方法及掩膜框架,涉及金属掩膜版领域
  • 本发明提出的一种金属掩膜版及掩膜版组件,涉及半导体显示技术领域
  • 本发明提出的一种掩膜版制作方法及掩膜版,涉及半导体显示技术领域。该掩膜版制作方法包括如下步骤:S10、制备金属基板;S20、在金属基板的其中一个表面涂覆PI膜;S30、采用蚀刻工艺在金属基板上加工出第一开口,第一开口贯通金属基板,制成掩...
  • 本发明提出的一种掩膜框架及其制作方法、掩膜装置,涉及金属掩膜版技术领域。该掩膜框架包括若干金属条和销块,金属条的两端均具有凹槽;金属条依次首尾相抵接围成矩形框架,任意两个相抵接金属条的相抵接端具有的凹槽相结合形成销槽;销块具有与销槽相适...
  • 本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种掩膜版制作方法及掩膜版。本发明提供的掩膜版制作方法包括如下步骤:在掩膜版基板上加工预设开口,预设开口的尺寸小于实际开口的尺寸,将加工有预设开口的掩膜版基板张紧固定于支撑框架上,对固定于支撑框架上的掩膜...
  • 本发明提出的一种用于搬运蒸镀机冷却板的提手工具,该提手工具包括:握柄;以及与握柄连接的衔接件;以及用于接外的螺栓,螺栓设置在衔接件的中部;以及支撑组件,连接在衔接件上,两组支撑组件分别设置在螺栓的两侧。衔接件的中部配置有第一连接部,第一...
  • 本发明提出的一种金属掩膜版的伴洗治具及清洗方法,涉及金属掩膜版清洗领域。该伴洗治具包括框体,框体的中部为上下贯通的开口;还包括吸附杆,吸附杆具有磁性,若干吸附杆平行布设在框体中部的开口处;吸附杆设置在框体的上侧和/或下侧。清洗方法步骤包...
  • 本实用新型提出的一种掩膜版上下料装置,涉及掩膜版清洗辅助设备领域。该掩膜版上下料装置包括升降台和掩膜版载具,掩膜版载具设置在升降台上;所述掩膜版载具包括支撑架,支撑架上设置有限位滚轮组和驱动机构,限位滚轮组设置在支撑架的上部,且配置为受...
  • 本发明提出的一种金属掩膜版框体组件及金属掩膜版组件,涉及金属掩膜版领域。该金属掩膜版框体组件包括主框体和至少一个压条;主框体的中部具有开口,围绕开口设置有焊接区,焊接区位于主框体的上表面内;压条设置于主框体的上侧,位于开口的边缘至焊接区...
  • 本发明提出的一种金属掩膜版框体及其加工方法,涉及金属掩膜版领域。该金属掩膜版框体包括组合框体和衔接件,组合框体由数个相同或不同的拼接段组成,任意两个相邻的拼接段均设置有衔接件进行衔接;拼接段上设置有凹槽,数个凹槽在组合框体的表面组合形成...
  • 本实用新型提出的一种晶振盒载具外框,涉及蒸镀机晶振探头清洗治具领域。该载具外框包括框体,框体中部具有窗口;框体上设置有安装槽和凸出部,安装槽设置于框体的一侧表面上,凸出部设置于框体的另一侧表面上;所述的安装槽和凸出部均沿着窗口边缘环绕延...