本发明提供一种干式清洗装置及干式清洗方法，适于清洗半导体制程容器的容器部件，以及适于以二氧化碳雪花清洗容器部件。干式清洗装置可先检验清洗前后的容器部件，依照预定的清洗工作集，以二氧化碳雪花清洗容器部件，直至容器部件完成清洗后，再将容器部...

本发明提供一种提供有吸收下压力的光罩支撑件的光罩盒，包含：具有吸收下压力的至少一光罩支撑件，该光罩支撑件具有一弹性手段；其中，当该光罩支撑件承受的一下压力小于或等于一临界值时，该光罩支撑件的一高度维持在一预定高度；其中，当该光罩支撑件承...

本发明提供一种具有导位机构的双层盒，包括一内盒及一外盒。该内盒的相对外侧具有至少一啮合部。该外盒界定用于容置该内盒的一收容空间，该外盒的相对内侧设有至少一导位机构，该导位机构受导引而限位于该啮合部，使该内盒在该外盒内受到偏移限制。本发明...

本发明提供一种上开式基板容器的固持装置，包含固持组件用以推抵基板活动件作动，基板活动件设置于基板的外侧部。固持组件包括固持本体及推抵活动件，推抵活动件包括：第一导引斜面，用以抵持容器门体的内表面的第二导引斜面，第一导引斜面依据容器门体的...

本发明提供一种基板容器保护装置，适用于一基板容器。所述基板容器保护装置包含容器门体及限制器用于抵持固定基板，以及支撑件及弹性连接件用于与容器本体相勾合固定，以及防静电元件的弹性干涉以提供一静电消散路径，作为基板的静电防护。本发明的基板容...

本发明提供一种具有扩散管安装结构的基板载具，包括：一壳体，界定一晶圆存放空间；及至少一安装结构，一体成型于该壳体的一内壁，用于固持至少一扩散管，使至少一该扩散管设置于一机械手臂前端的操作范围之外。本发明的基板载具简化了基板载具安装扩散管...

本发明提供一种具备背面静电消除的光罩盒，具有一内盒的容置空间用以容置一光罩。多个弹性导位元件分别对应配置于内盒的外侧安装部，将内盒的内盖与内基座进行导位而不相对位移。多个导电固持元件对应配置于容置空间中，多个导电固持元件用以抵持光罩的一...

本发明提供一种具有栓锁稳定机构的门及基板载具，所述门适用于一基板载具，门包含一底板、一封盖及一限位结构。该底板与该封盖相互配合形成一收容空间，以收容多个栓锁结构，每一个栓锁结构配置成在一解锁位置与一锁定位置之间移动。限位结构介于该栓锁结...

本发明公开了一种支撑中柱检测系统及支撑中柱检测方法，用于检测一基板载具的至少一支撑中柱，支撑中柱检测系统包括：推移件、动力模块以及偏移传感器。推移件用于施加预设的推力至支撑中柱。动力模块用以带动推移件朝支撑中柱移动，使推移件施加推力于支...

本发明提供一种用于测量具有开口端且内设至少气体流通管的晶圆载具测量装置，其具有承载界面用以固定晶圆载具。该晶圆载具的开口端面向晶圆载具测量装置的检测空间。该承载界面具有供气组件，其连接晶圆载具的底盘，由此该承载界面供应气体至晶圆载具的一...

本发明揭示了一种非矩形光罩的容器及光罩储存盒，非矩形光罩的容器适用于容纳一椭圆形光罩，非矩形光罩的容器包括：一盖及一基座，盖包括一内侧表面和自内侧表面向下延伸的一分隔壁，内侧表面和分隔壁界定出一椭圆形空间；多个光罩保持器，部分延伸至椭圆...

本发明公开一种光罩装载系统及光罩载入方法和光罩卸除方法，包含：一第一接口；一第二接口；一第一升降设备，配置成使该光罩传送盒能于一顶部位置和一底部位置之间升降，当该光罩传送盒抵达该底部位置时，该光罩传送盒的一容置空间被开启而暴露于该装载环...

本发明公开一种光罩储柜系统及光罩载入方法和光罩卸除方法，该系统包含：一储放柜，包含多个存放架，每一个存放架用于承载一专用光罩储存盒；及一机械手臂，配置成与该储放柜配合以搬运所述专用光罩储存盒；其中，所述专用光罩储存盒用于该储放柜中的储藏...

本发明提出一种锁附导正结构，适用于半导体载具门。该锁附导正结构包括上闩锁部、下闩锁部、至少一弹性组件以及一驱动组件。上闩锁部的第一导正部与下闩锁部的第二导正部为匹配设置，并界定出用以容置弹性组件的容置空间。驱动组件用以同步驱动第一导正部...

本发明涉及一种具强化结构的载板传送盒，包含：容器本体、两个夹取部及至少两个强化结构，容器本体具有顶板、底板、连接顶板及底板的多数个侧板及侧开口，顶板、底板及侧板夹合形成容置空间，两个夹取部分别设置于容器本体的相对两侧，至少两个强化结构分...

本发明公开了一种探针卡的定位环及保护盒，保护盒包括定位环、盒体、上盖及开关件，定位环有快拆件，盒体设有对应快拆件配置的配置槽，用来与快拆件对接，以将定位环可拆卸地扣合于盒体内，定位环包括斜槽，探针卡上连接有保护盖，保护盖包括用以卡扣于探...

本发明公开了一种基板容器，包括一壳体及一覆盖元件。壳体内界定一容置空间并具有一底部，至少一抽气孔形成于该底部，该抽气孔靠近该壳体的一开口；覆盖元件连接至该壳体的底部，并与该壳体的底部界定出一负压气室，该负压气室界位于该至少一抽气孔的上方...

本发明公开了一种支撑结构及检测设备与检测设备的校正治具，支撑结构的龙骨上等间隔设有支持部，支持部间界定有容置槽用于容置支撑件，支持部设有第一限位部，支撑件上对应设有第二限位部，平行键设置于第一与第二限位部间，用于限制支撑件的相对位移，检...

本发明公开了一种气阀盖和应用气阀盖的基板载具，基板载具包括壳体与配置于壳体的底部的基座，底部可容置气阀，基座设置有气体开口，气阀盖包括：气阀盖本体及多个弹性扣臂，气阀盖本体设置于基座上，弹性扣臂设置于气阀盖本体上，弹性扣臂位于气体开口处...

本发明提供一种上开式载板载具，包含：容器本体、门构件及至少一个闩锁机构。闩锁机构包括旋转驱动件、第一从动凸轮、第二从动凸轮、第一连接杆、第二连接杆、两个纵向闩锁臂及两个横向闩锁臂。第一从动凸轮及第二从动凸轮设置于旋转驱动件的两侧，旋转驱...