本实用新型公开了一种靶材冷却装置，包括靶座、安装在靶座上的靶材背板、绑定在靶材背板正面的靶材，在靶材背板的背面开设有多条连通的水冷槽，水冷槽通过水冷盖板密封，在靶材背板的背面还开有与水冷槽连通的进、出水口，在靶座上与进、出水口对应位置分...

本实用新型公开了一种连续真空镀膜生产线用玻璃装夹装置测速机构，包括基片架，还包括光电传感器、PLC，在基片架底部的下横板上开设有一排穿透下横板的等距离分布的腰槽孔，在一侧的真空腔体壁上与腰槽孔对应位置处安装有光电传感器发射端，另一侧的真...

本实用新型公开了一种真空室内在线运动监控温度测量装置，包括装载小车、真空室，装载小车上的活动盘中心处设有延伸至装载小车底部的驱动座，驱动座底面设有通槽、热电偶接线柱以及与热电偶接线柱连接的连接块，接线柱连接热电偶，真空室底部的传动轴上固...

本实用新型公开了一种立式磁控溅射镀膜生产线用旋转平台，包括下支架、旋转台、旋转驱动组件、位置感应组件、定位组件、平移传送组件、上支架、控制器，旋转台通过旋转驱动组件与下支架连接，旋转驱动组件包括旋转轴承、轴承座、旋转驱动马达；位置感应组...

本实用新型公开了一种真空镀膜机真空室基片架升降机构，在真空室底板下方固定有两个气缸，两个气缸的活塞杆端连接在同一块端板上，所述端板的两端各设有一支撑杆，所述支撑杆穿透真空室底板伸入至真空室内，支撑杆的顶端连接支撑座，支撑杆穿过真空室底板...

本实用新型公开了一种真空镀膜机基片架传送系统，包括机械平移机构、磁导平移机构、升降机构、控制模块，机械平移机构包括与驱动马达连接的传动杆Ⅰ，与传动杆Ⅰ两端连接的安装板上Ⅰ，与安装板上Ⅰ连接的平移马达Ⅰ，磁导平移机构包括固定在连接杆上的磁...

本实用新型公开了一种真空镀膜机真空室内磁导向平移机构，包括真空室、磁导向装置，还包括多根横向穿过真空室两侧侧板的连接杆，多条磁导向装置纵向固定在连接杆上，连接杆的一端固定在安装板上，在安装板与真空室之间的连接杆外套有波纹管，连接杆的另一...

本实用新型公开了一种真空镀膜机真空室内基片架传送装置，包括传输机构和平移机构，传输机构包括多根穿过真空室两侧侧板的传动杆，传动杆的两端分别安装在两块安装板上，在真空室外的传动杆外套有波纹管，传动杆一端的末端安装有同步带轮，相邻两根传动杆...

本发明公开了一种单体镀膜机的水冷系统，包括旋转鼓，旋转鼓上端板连接旋转轴，旋转轴与真空室壁通过磁流体密封装置密封，下端板上连接有支撑轴，旋转轴为空心轴，其中空部设有进水管，进水管与旋转轴之间形成出水通道，在真空室内的旋转轴末端通过端盖封...

本发明公开了一种真空室用降温装置，包括底板、盖板、水冷管，所述底板通过固定柱安装在真空室壁上，在底板朝向真空室一面开有S型迂回弯曲的水冷槽，水冷槽均匀分布在底板上，水冷管穿透真空室壁后嵌在水冷槽中，水冷管进水端和出水端与真空室壁连接处通...

本发明公开了一种连续真空镀膜生产线用玻璃装夹装置测速机构，包括基片架，还包括光电传感器、PLC，在基片架底部的下横板上开设有一排穿透下横板的等距离分布的腰槽孔，在一侧的真空腔体壁上与腰槽孔对应位置处安装有光电传感器发射端，另一侧的真空腔...

本发明公开了一种真空室内在线运动监控温度测量装置，包括装载小车、真空室，装载小车上的活动盘中心处设有延伸至装载小车底部的驱动座，驱动座底面设有通槽、热电偶接线柱以及与热电偶接线柱连接的连接块，接线柱连接热电偶，真空室底部的传动轴上固定有...

本发明公开了一种真空室内传输机构定位装置，包括传输机构、传输机构驱动马达、PLC，PLC通过控制传输机构驱动马达的速度和时间定位传输机构的位置，在定位位置处的真空室箱体上设有通孔，气缸通过密封座固定在通孔处，在靠近真空侧一端密封座内部安...

本发明公开了一种可调节的基片装夹机构，包括上部连接框架、下部连接框架，上部连接框架、下部连接框架之间通过两根圆杆连接，在两根圆杆之间设有多个挂钩组件，所述挂钩组件包括挂杆，所述挂杆两端分别活动连接在圆杆上，在挂杆上设有多个挂钩，基片装夹...

本发明公开了一种真空室用翻板阀门装置，包括阀板，所述阀板上设有一组以上的连接装置，所述连接装置包括两根平行设置的连接杆，在两个连接杆之间设有连接座，连接座与连接杆之间通过轴活动连接，所述连接座通过螺杆与阀板连接，在连接座与阀板之间的螺杆...

本发明公开了一种连续镀膜生产线进出口室充气装置，包括充气管道、设置在充气管道上的真空阀门、与真空阀门连接并伸入真空箱体的匀气管，充气管道上通过支管连接有预充真空阀门，预充真空阀门连接匀气管并伸入真空箱体内，所述预充真空阀门的口径小于真空...

本发明公开了一种连续镀膜生产线中基片框架偏压引入装置，包括引入电极，所述引入电极外套接有绝缘套并穿过真空腔体壁伸入真空腔体内，引入电极与真空腔体壁之间密封连接，引入电极在大气侧通过电缆连接偏压电源，在真空腔体内靠近引入电极一侧的腔体挡板...

本发明公开了一种溅射阴极匀气装置，包括安装在阴极靶门上的溅射阴极以及罩住溅射阴极的阴极挡板，在阴极挡板内侧、溅射阴极的两边沿溅射阴极长度方向，对称设有两段或两段以上的独立且互不连通的匀气管，所述匀气管由匀气外管和匀气内管组成，匀气内管套...

本发明公开了一种真空环境下的动力传输装置，包括输入轴、输出轴、外壳体、内壳体，内壳体呈圆筒状，内中空，内壳体穿透真空腔体壁并与真空腔体壁密封连接，内壳体在大气侧一端通过顶盖封闭，位于真空侧的输出轴伸入内壳体内并通过轴承与内壳体连接，在靠...

本发明公开了一种靶材冷却装置，包括靶座、安装在靶座上的靶材背板、绑定在靶材背板正面的靶材，在靶材背板的背面开设有多条连通的水冷槽，水冷槽通过水冷盖板密封，在靶材背板的背面还开有与水冷槽连通的进、出水口，在靶座上与进、出水口对应位置分别开...