本实用新型提供一种用于化学气相沉积炉内气体混合的搅动装置，包括，混合罐主体；气体混合组件，所述气体混合组件设置于所述混合罐主体的上，所述气体混合组件包括转动杆，所述转动杆固定安装有用于气体推动的推动板，所述推动板上开设有用于气体流通的连...

本实用新型提供一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉用降温装置。所述碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉用降温装置包括：冷凝装置和与所述冷凝装置连接有第一盘绕式环流降温管和第二盘绕式环流降温管；输送装置，所述输送装置固定于所述冷凝装置的一端用于将...

本实用新型提供一种立式大型化学气相沉积炉的补气装置，包括：输气管，所述输气管贯穿转动安装于炉壁上；排气机构，所述排气机构连接于所述输气管的一端且位于气相沉积炉的内部；所述输气管位于气相沉积炉外部的一端连接有旋转连接头，所述旋转连接头的一...

本实用新型提供一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉用支撑结构。所述碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉用支撑结构，包括：底座和转动板；固定组件，两个所述固定组件分别设置在所述转动板的两侧，所述固定组件包括电动伸缩杆、定位板。本实用新型提供一种碳...

本实用新型提供一种带有清料装置的化学气相沉积炉。所述带有清料装置的化学气相沉积炉包括：沉积炉本体、固定于所述沉积炉本体顶部的出气管道和设置于所述出气管道内部用于清料的清洁爪；竖向管，所述竖向管固定于所述出气管道的顶部；封闭架，所述封闭架...

本实用新型提供一种化学气相沉积炉尾气预热装置用防护组件。所述化学气相沉积炉尾气预热装置用防护组件，包括：加热箱体、降温结构以及吸风机；其中，所述降温结构设置在所述加热箱体与所述吸风机之间，所述降温结构包括降温箱体、螺旋导管、两个连接头。...

本实用新型提供一种带有防护机构的化学气相沉积炉。所述带有防护机构的化学气相沉积炉，包括：炉体；进料结构，所述进料结构设置于所述炉体的顶部，所述进料结构包括进料斗、电动伸缩杆、密封盖、安装架。本实用新型提供一种带有防护机构的化学气相沉积炉...

本实用新型提供一种常压化学气相沉积炉排气罩除尘工具。所述常压化学气相沉积炉排气罩除尘工具，包括：手持杆；调节电机，所述调节电机安装于所述手持杆上；旋转架，所述旋转架固定安装于所述调节电机的轴端，所述旋转架上开设有缓冲槽；至少两组第一刷板...

本实用新型提供一种化学气相沉积炉的进气通道防堵装置。所述化学气相沉积炉的进气通道防堵装置，包括：进气管；封堵组件，所述封堵组件包括固定板和密封轴，所述固定板固定安装在所述进气管上，所述密封轴固定安装于所述固定板上。本实用新型提供的化学气...

本实用新型提供一种半导体用带有两端进气的化学气相沉积炉，包括：炉体，第一进气管和第二进气管，所述第一进气管和第二进气管对称连接于所述炉体的上侧和下侧；排气机构，所述排气机构包排气管、排气孔和驱动叶，所述排气管的两端均通过旋转连接头与所述...

本实用新型提供一种化学气相沉积炉尾气处理装置。化学气相沉积炉尾气处理装置，包括：化学气相沉积炉炉体；尾气管道，所述尾气管道设置在所述化学气相沉积炉炉体的一侧；加热机构，所述加热机构设置在所述尾气管道上。本实用新型提供的化学气相沉积炉尾气...

本实用新型提供一种钟罩式化学气相沉积炉。钟罩式化学气相沉积炉，包括：基座；沉淀炉本体，所述沉淀炉本体设在基座的顶部；四个支杆，四个所述支杆均固定安装在基座的顶部，四个所述支杆呈矩形列阵分布；两个对杆，两个所述对杆分别转动安装在四个所述支...

本实用新型提供一种化学气相沉淀的基体支撑旋转装置。所述化学气相沉淀的基体支撑旋转装置包括：底座；腔体，所述腔体开设在底座上；安装槽，所述安装槽开设在腔体的一侧内壁上；电机，所述电机固定安装在安装槽的底部内壁上，所述电机的输出轴延伸至腔体...

本实用新型提供一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置。化学气相沉积炉的粉尘收集装置，包括：沉积炉本体；连接管，所述连接管固定安装在所述沉积炉本体的顶部；收集箱，所述收集箱设于所述沉积炉本体的一侧，所述连接管远离所述沉积炉本体的一端延伸至所述收...

本实用新型提供一种用于化学气相沉积炉的活接头导气工装。用于化学气相沉积炉的活接头导气工装，包括：第一连接管；外丝管，所示外丝管固定套设在所示第一连接管上；第一螺母，所示第一螺母固定套设在所示第一连接管上，所述第一螺母与所述外丝管固定连接...

本实用新型提供一种立式化学气相沉积炉炉底加热装置。立式化学气相沉积炉炉底加热装置，包括：炉体；空腔，所述空腔开设在所述炉体上；加热机构，所述加热机构设置在所述炉体的内部；两个导气管，两个所述导气管均设置在所述炉体的顶部。本实用新型提供的...

本实用新型提供一种碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉。碳化硅涂层生产用化学气相沉积炉，包括：炉体；两个支撑杆，两个所述支撑杆均设于所述炉体内；两个安装板，两个所述安装板固定安装在两个支撑杆的顶端和底端；两个螺纹杆，两个所述螺纹杆均转动安装在...

本实用新型提供一种化学气相沉积炉进气分布装置。所述化学气相沉积炉进气分布装置包括：气相沉积炉进气分布设备本体；气相沉积炉体，所述气相沉积炉体包含在气相沉积炉进气分布设备本体内；排气孔，所述排气孔开设在气相沉积炉体的顶部；环形连接板，所述...

本实用新型提供一种化学气相沉积炉的辅助进气装置。化学气相沉积炉的辅助进气装置，包括：炉体本体；抽气泵，所述抽气泵设置在所述炉体本体的一侧；混气机构，所述混气机构设置在所述抽气泵的一侧；第二连接管，所述第二连接管设置在所述炉体本体和所述抽...

本实用新型提供一种化学气相沉积炉气体预热装置。所述化学气相沉积炉气体预热装置包括：预热设备本体；竖型盖板一，所述竖型盖板一固定连接在预热设备本体上；放置盒，所述放置盒滑动安装在预热设备本体上；圆型进气管，所述圆型进气管设置在预热设备本体...