本申请涉及半导体制造技术领域，具体公开了一种清理装置及清理方法，清理装置包括气源、第一等离子源以及与前级管线连通的第一管道；第一等离子源具有第一进气口与第一出气口；气源与第一进气口连通，第一管道与第一出气口连通；气源提供的清洁气体进入可...

本技术提供一种光罩的储存装置及运输装置，涉及半导体储存运输技术领域，该储存装置包括本体，本体包围形成容纳腔，光罩位于容纳腔内，本体还具有与容纳腔连通的充气口和排气孔；充气口与充气装置连通，利用充气装置对容纳腔内填充惰性气体；其中，排气孔...