本发明涉及一种用于静电卡盘的氧化铝多孔陶瓷的制备方法，通过优化冷冻干燥等工艺参数，以水生成的冰晶作为模板，成功得到了具有均匀孔隙结构、孔隙率和孔径可调、密度小、强度大的多孔陶瓷；本发明还采用氧化铝粉体、增塑剂、分散剂、粘结剂、脱泡剂、增...

本发明公开了一种静电卡盘多孔陶瓷用氧化铝陶瓷浆料，包括氧化铝陶瓷粉40～70wt％、造孔剂35～50wt％、分散剂0.1～10wt％、粘结剂2～10wt％、增塑剂1～8wt％、助烧剂0～5wt％，所述造孔剂为聚乙二醇，所述聚乙二醇的分子...